Puls-Magnetron

rund

Indirekt gekühlte Magnetrons verfügen über eine Zwischenwand zwischen dem Kühlwasser der ringförmigen Kathode und dem Sputtertarget. Diese Wand bildet eine dauerhafte Abdichtung zwischen Wasser und Vakuum und verhindert so Undichtigkeiten, die auftreten könnten, wenn ein Target „durchgesputtert“ wird. Die indirekt gekühlten kreisförmigen Magnetrons von Angstrom Sciences mit Durchmessern von 1″ bis 4″ (25 mm bis 100 mm) verfügen über eine Gewinde-Targetklemme und eine Anodenschutzblende, die sich an Sputtertargets unterschiedlicher Dicke anpassen lassen. Der Targetwechsel bei dieser Gewindekonstruktion erfolgt schnell und einfach und erfordert keine zusätzlichen Werkzeuge oder Vorrichtungen. Zudem bilden die Gewinde-Targetklemme und die Anodenschutzblende einen kompakten, kreisförmigen Magnetronkopf. Dadurch passen die kreisförmigen Magnetrons von Angstrom Sciences auch in beengte Vakuumkammern und können im Vergleich zu herkömmlichen Magnetrons Substrate mit größerer Oberfläche sputtern. Indirekt gekühlte Magnetrons werden für Anwendungen mit geringer Leistung empfohlen und sind die ideale Wahl für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen.