Puls-Magnetron

kundenspezifischrund

Die Ringmagnetrone von Angstrom Sciences haben sich dank des „Angstrom Advantage™“ und einer Vielzahl weiterer Konstruktionsmerkmale, die nahezu unbegrenzte Möglichkeiten hinsichtlich Konfiguration und Prozessleistung bieten, als Standard in der Sputterindustrie etabliert. Vielseitiges, kompaktes Design Dank ihres kompakten Designs eignen sich unsere ringförmigen Magnetrons ideal für jede Neu- oder Nachrüstanwendung, einschließlich der komplexesten Cluster-Baugruppen für kleinste Vakuumkammern. Umfassende Leistungskompatibilität Köpfe mit niedriger Impedanz bieten Kompatibilität mit HF-, Gleichstrom-, Mittelfrequenz-Gleichstrom-, gepulstem Gleichstrom-, HiPIMS- und Mikrowellenleistung. Standardanschlüsse Wir verwenden ISO-NW-Standardanschlüsse sowie Conflat®-Metalldichtungsflansche. Alle Versorgungsleitungen werden bei Atmosphärendruck geführt und sind über Standard-O-Ring-Klemmverschraubungen zugänglich, was eine einfache Installation in jedes Vakuumsystem ermöglicht. Umfassendes Größensortiment Runde Magnetronquellen sind mit Targetdurchmessern von 1″ (25 mm) bis 16″ (406 mm) und darüber hinaus in Standard- oder kundenspezifischen Konfigurationen erhältlich. Schneller, einfacher Targetwechsel Unsere patentierte Targetklemme mit Gewinde und die Anodenschutzblende an unseren kleinen runden Kathoden ermöglichen es Ihnen, Targets ohne den Einsatz von Zusatzwerkzeugen zu wechseln. Dank ihrer integrierten Verstellbarkeit können Sie zudem Targets unterschiedlicher Dicke ohne Verwendung von Abstandshaltern montieren. Niedriger Druck, hohe Leistung ONYX®-Magnetrons können bei extrem niedrigem Druck (bis in den Bereich von 10⁻⁴ Torr) betrieben werden, und unsere direkt gekühlten Ausführungen liefern Leistungsdichten von bis zu 250 Watt/in² (30 Watt/cm²) im Dauerbetrieb.