Puls-Magnetron

kundenspezifischLinearray

Die linearen Magnetrons von Angstrom Sciences sind mit unseren vollständig gekapselten, patentierten, profilierten NdFeB-Seltenerdmagneten ausgestattet, die das Magnetfeld über die gesamte Targetoberfläche verteilen, wodurch die Targetausnutzung erhöht und die Partikelkontamination durch die Targetoberfläche minimiert wird. Alle unsere Magnetron-Sputterkathoden verfügen zudem über eine turbulente Wasserströmung, um eine optimale Wärmeübertragung zu gewährleisten und Ungleichmäßigkeiten aufgrund von Hotspots auf der Targetoberfläche zu minimieren. Zusammen mit Merkmalen wie integrierten Prozessgaseinlässen, massiven Anodenwänden und dem Einsatz modernster Werkstoffe sorgen diese für eine beispiellose Leistung und Zuverlässigkeit Ihres Sputterprozesses. Da immer mehr Branchen die Geschwindigkeit, die Steuerbarkeit und die wirtschaftlichen Vorteile des Magnetron-Sputterens entdecken, entwickelt Angstrom Sciences Werkzeuge, um den Durchsatz dieser größeren, schnelleren Fertigungsprozesse zu maximieren. Größere Lösungen Für Anwender, die extrem breite Substrate beschichten oder einen extrem hohen Durchsatz erzielen müssen, bieten lineare Magnetrons die perfekte Inline-Lösung. Vollständige Leistungskompatibilität Köpfe mit niedriger Impedanz bieten Kompatibilität mit HF-, Gleichstrom-, Mittelfrequenz-Gleichstrom-, gepulstem Gleichstrom-, HiPIMS- und Mikrowellenleistung. Standardanschlüsse Für die Montage können wir ISO-NW-Standardanschlüsse, Conflat®-Metalldichtungsflansche oder kundenspezifische, mit O-Ringen abgedichtete Flansche verwenden. Alle Versorgungsleitungen werden in der Regel bei Atmosphärendruck gehalten und sind über standardmäßige O-Ring-Klemmverschraubungen zugänglich, was eine einfache Installation in jedes Vakuumsystem ermöglicht. Bewährte Leistung Diese Magnetrons liefern die unvergleichliche Leistung, die Angstrom Sciences zum Branchenstandard gemacht hat.