Rotations-Magnetron

zylinderförmig

Angstrom Sciences bietet hochmoderne Magnetrons für nahezu jeden Standard-Sputterprozess an. Wir wissen jedoch, dass jede Anwendung anders ist. Aus diesem Grund haben wir einen einzigartigen, modularen Ansatz entwickelt, der sich speziell an Ihre Anforderungen anpasst. Zylindrische Magnetrons genießen in der Glasbeschichtungsindustrie seit langem großes Vertrauen, da sie gleichmäßige Dünnschichten erzeugen und gleichzeitig die Targetausnutzung maximieren. Nun hat Angstrom Sciences ein kompaktes, leichtes und wirtschaftliches zylindrisches Magnetron entwickelt, das speziell darauf ausgelegt ist, dieselben Vorteile auch für Anwendungen in den Bereichen Flachbildschirme, Solarzellen und Bahnbeschichtung zu bieten. Kundenspezifische Ausführungen Es sind komplette Baugruppen sowohl in Drop-in- als auch in Seitenmontage mit Rückrohrdurchmessern von 3″ (75 mm) oder 5″ (125 mm) und Längen von bis zu vier Metern erhältlich. Bei einem Mindestabstand von Quelle zu Quelle sind mehrere Inline-Anordnungen für kompakte Produktionssysteme mit hohem Durchsatz verfügbar. Kostengünstige und vollkompatible Investition Das ONYX-Revolution™ nutzt ein universelles und kosteneffizientes Magnetdesign mit maßgeschneiderten Lieferzeiten, um sich an jeden Targettyp anzupassen. Zudem wurde es mit handelsüblichen Komponenten entwickelt, um eine kostengünstige, langfristige Investition und hohe Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Patentierte Technologie Die patentierte profilierte Magnet-Technologie von Angstrom Sciences erzeugt ein Abscheidungsprofil, das zwischen der Quelle und dem Substrat näher am Normalprofil liegt. Das verbesserte Abscheidungsprofil sorgt für eine geringere Ablagerung von Rückständen an den Kammerwänden. Darüber hinaus bietet die Magnetanordnung von Angstrom Sciences eine höhere Magnetfeldintensität, wodurch der Anwender den Sputterprozess mit geringerer Leistung betreiben kann, um typische Abscheidungsraten zu erzielen.