Zylinderförmiger Magnetron

Zylindrische Magnetrons sind in der Glasbeschichtungsindustrie sehr beliebt, da sie in dünnen Schichten gleichmäßig sind und eine maximale Zielausnutzung erreichen. Vor kurzem hat Angstrom Sciences eine neue Art von zylindrischem Magnetron entwickelt, kompakt, leicht und wirtschaftlich, und es ist sehr vorteilhaft für Flachbildschirme, Solarzellen und Web-Coating-Anwendungen. Eine weitere bekannte Tatsache der patentierten Profilmagnettechnologie ist, dass sie ein Depositionsprofil erzeugt, das näher an der Norm zwischen Quelle und Substrat liegt. Dies ist bekannt dafür, die Ablagerungen an den Kammerwänden zu reduzieren. Die höhere Magnetfeldintensität, die durch das Magnetfeld von Angstrom Sciences geboten wird, kann dazu beitragen, typische Depositionsraten zu erreichen.