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Metrologie für Halbleiter
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... Übersicht
Die Edge Series umfasst drei kompakte Sicht-Messsysteme, entwickelt für fertigungsnahe Messtechnik und die dimensionsmäßige Prüfung kleiner Präzisionsteile. Die Baureihe ermöglicht wiederholbare, produktionsgerechte Prüfungen, wo Durchsatz ...
... Aktivierung und Schadensbehebung für Ausglühprozesse. Darüber hinaus unterstützt die Therma-Probe 780 die Überwachung von Halbleiter-Ionenimplantations- und Glühprozessen mit großem Bandabstand (SiC, GaN usw.). ...
... Integrierte Messplattform mit branchenführender Optik und maschinellen Lernlösungen, die hohe Empfindlichkeit mit hohem Durchsatz für CMP-, Beschichtungs-, Ätz- und Litho-Anwendungen kombiniert. Produktübersicht IMPULSE V-System Mit engeren Wafer-zu-Wafer- ...
Onto Innovation Inc.
... Die Atlas-Dünnschicht- und OCD-Serie ist das Messwerkzeug für die Herstellung von FinFET-, Gate-All-Around (GAA)-FET-, 3D-NAND- und fortschrittlichen DRAM-Bauelementen der Spitzenklasse. Das neue Atlas V-Metrologiesystem wurde entwickelt, um mehrere ...
Onto Innovation Inc.
... Das neue Aspect-Metrologiesystem ist eine revolutionäre optische Plattform, die für die aktuellen und zukünftigen Herausforderungen fortschrittlicher 3D-NAND-Bauteile konzipiert ist. Produktübersicht Die Speicherdichte steigt sowohl durch die Skalierung ...
Onto Innovation Inc.
... Die IVS-Serie bietet optische Overlay- und CD-Messtechnik für die Märkte Halbleiter, Verbindungshalbleiter, Leistungsbauelemente, RF, MEMS und LED. Die Systeme bieten eine hervorragende Messleistung mit Overlay- und CD-Messungen im selben ...
Onto Innovation Inc.
... branchenführenden AI-Diffract™ OCD-Analysesoftware von Onto Innovation und ermöglicht so eine hochpräzise Kontrolle jedes kritischen Halbleiter-Prozessschritts. Das System umfasst einen zweiarmigen Roboter, einen hochpräzisen Tisch und ...
Onto Innovation Inc.
... Die Pikosekunden-Ultraschalltechnologie, auch PULSE™-Technologie genannt, ist der Industriestandard für die Metallfilm- Metrologie. Das Echo™-System ist die jüngste Ergänzung der Familie akustischer Messtechnikprodukte von Onto Innovation ...
Onto Innovation Inc.
... Das RPMBlue-System ist ein Photolumineszenz (PL)-Mapper, der die Anforderungen fast aller Verbindungshalbleiter-Anwender erfüllen kann. Produktübersicht Das RPMBlue-System wurde entwickelt, um eine genaue, präzise und zuverlässige PL-Spektralmessung ...
Onto Innovation Inc.
... Dotierstoffüberwachung, Epi-Dickenmessung und andere Anwendungen Produktübersicht Das QS1200 System wurde speziell für fortschrittliche Halbleiter-Fabriken entwickelt, die Materialcharakterisierung in Bereichen der Silizium-Züchtung ...
Onto Innovation Inc.
... Zerstörungsfreie Wafer-Analyse Produktübersicht Das QS2200-System ist ein FTIR-Messgerät, das speziell für die zerstörungsfreie Waferanalyse entwickelt wurde. Es wird für die Charakterisierung und Messung von Halbleitermaterialien sowie für die Herstellung ...
Onto Innovation Inc.
... Ethernet-Schnittstelle Vollständige Fernsteuerungssoftware (Windows-kompatibel) Optionale Kalibrierwafer Über das manuelle Halbleiter-Metrologiesystem Das Proforma 300i Waferdickenmessgerät ist ein kapazitätsbasiertes, differenzielles ...
... MESO Metrologie-Lösung Das MESO-Metrologiesystem ist eine Komplettlösung für viele Herausforderungen in der optischen Metrologie. Messungen in der Werkstatt gewährleisten Qualitätskontrollprüfungen und die Prozesskontrolle ...
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