Metrologie für Halbleiter EDGE APEX

Übersicht
Die Edge Series umfasst drei kompakte Sicht-Messsysteme, entwickelt für fertigungsnahe Messtechnik und die dimensionsmäßige Prüfung kleiner Präzisionsteile. Die Baureihe ermöglicht wiederholbare, produktionsgerechte Prüfungen, wo Durchsatz und Konsistenz entscheidend sind, und liefert schnelle Rückmeldungen an Produktion und Qualitätskontrolle.

Wesentliche Vorteile

• Kompakte, produktionsbereite Stellfläche für den Einsatz auf der Fertigung
• Wiederholbare Messungen über Bediener, Schichten und Chargen hinweg
• Drei Automatisierungsstufen: manuell (CORE), schnelle 2-Achsen-Automatisierung (VISTA) und vollständiges 3-Achsen-CNC (APEX)
• Mustererkennung zur automatischen Merkmalslokalisierung und Bildstitching für erweiterte Sichtfelder
• Programmierbare Beleuchtung und strukturierte Berichte mit Datenexport für SPC- und Qualitätssysteme

Drei Systeme (Prüfoptionen)
APEX

• Vollständige 3-Achsen-CNC-Messung für kontrollierte Produktionsprüfungen
• Motorisiertes 6,5:1 Zoomobjektiv (7 Positionen) mit motorisierter Fokussierung
• Verstellbare Substage-Iris für flache und gedrehte Teile
• Programmierbare LED-Beleuchtung, Mustererkennung und Bildstitching
• GD&T-Messfunktionen, strukturierte Berichte und M3 Messsoftware

VISTA

• Schnelle automatisierte Messung (3-Achsen-CNC-Steuerung, 2-Achsen-Messung) für wiederholte Prüfungen
• Niedrigverzerrende telezentrische Optik und motorisierte Fokussierung
• Großes Sichtfeld für schnellere Prüfungen, kollimierte Substage-Beleuchtung
• Programmierbare LED-Beleuchtung, Mustererkennung und Bildstitching
• GD&T-Messfunktionen, strukturierte Berichte und M3 Messsoftware

CORE

• Flexible manuelle Messung zur Produktionsfreigabe (manuelle Tischsteuerung)
• Manuell indexiertes 6,5:1 Zoomobjektiv und manuelle Fokussierung
• Iris-gesteuerte Substage-Beleuchtung für flache und gedrehte Teile
• Programmierbare LED-Beleuchtung, Mustererkennung und Bildstitching
• GD&T-Messfunktionen, strukturierte Berichte und M3 Messsoftware

Messsoftware
Die M3 (M-Series) Software bietet programmierte Prüfabläufe, automatische Merkmalserkennung und strukturierte Berichte, um wiederholbare dimensionsmäßige Prüfungen in Produktionsumgebungen sicherzustellen.

• Erstellen und Ausführen programmierter Prüfabläufe und Chargenprüfungen
• Speichern und Abrufen von Messprogrammen für repetitiven Einsatz
• Mustererkennung zur automatischen Merkmalslokalisierung
• DXF-Import und digitale Gegenprüfung; Datenexport für SPC- und Qualitätssysteme
• Speicherung von Prüfergebnissen für Rückverfolgbarkeit und Industry-4.0-Integration

Anwendungen

• Präzisionsingenieurwesen: Messung von Gewinden, Zahnrädern, Wellen, Schultern, Nuten und kleinen Gehäusen
• Elektronik: miniaturisierte Bauteile, Steckerkontakte, Lötpads, Bauteilabstände und PCB-Merkmale
• Präzisionskunststoffe & 3D-Druck: gespritzte Steckverbinder, Gehäuse, dünnwandige Teile und Kavität-zu-Kavität-Verifikation; Bildstitching für größere Teile
• Medizintechnik: Inspektion von Mikromerkmalen bei Kathetern, Stents, chirurgischen Bauteilen und miniaturisierten Spritzgussteilen

Technische Daten / Spezifikationen

• Bezeichnung: Edge Series (drei Systeme: APEX, VISTA, CORE)
• Messkapazität (X / Y / Z): 200 x 100 x 95/100 mm (APEX / VISTA / CORE)
• Objektiv (APEX): motorisiertes 6,5:1 Zoomobjektiv (7 Positionen)
• Objektiv (VISTA): niedrigverzerrende telezentrische Linse
• Objektiv (CORE): 6,5:1 manuell indexiertes Zoomobjektiv (6 Positionen)
• Sichtfeld – Max: APEX 12,4 x 7,8 mm; VISTA 35 mm diagonal (28 mm / 21 mm); CORE 15,5 x 10,0 mm
• Sichtfeld – Min: APEX 2,8 x 1,8 mm; VISTA Festobjektiv; CORE 2,5 x 1,5 mm
• Vergrößerungsbereich*: APEX 27x–117x; VISTA 10,3x; CORE 20x–117x (auf 22" Monitor, an Bildschirm angepasst)
• Objektivsteuerung: APEX motorisiertes Zoom und Fokus; VISTA motorisierter Fokus; CORE manuelles Zoom und Fokus
• Kamera: APEX 2,3 MP (11.251 x 7.032 mm) CMOS; VISTA 5,0 MP (5.702 x 4.277 mm) CMOS; CORE 2,3 MP CMOS
• Steuerung: APEX 3-Achsen-CNC; VISTA 3-Achsen-CNC; CORE Manuell
• Maximale Last: 10 Kg (alle Systeme)
• Standard-Aufstellmaß (X / Y / Z) + PC und Monitor: APEX 800 x 520 x 570 mm; VISTA 800 x 520 x 550 mm; CORE 550 x 650 x 580 mm
• Arbeitsraum X,Y,Z = PC und Monitor: APEX 1000 x 520 x 670 mm; VISTA 1000 x 520 x 620 mm; CORE 720 x 690 x 670 mm
• Encoder-Auflösung: X,Y 1 μm; Z-Achse 0,5 μm
• Messunsicherheit (X–Y Achsen)*: APEX 5 + (6.5L/1000) μm **; VISTA 5 + (9.54 L/1000) μm (oder 4 μm im FOV-Modus); CORE 5 + (6.5L/1000) μm **
• Messunsicherheit (Z-Achse)*: APEX 15 + (7L/1000) μm **; VISTA N/A; CORE 15 + (7L/1000) μm **
• Oberflächenbeleuchtung: helles weißes LED-Ringlicht mit 4 Sektoren und optionalem Diffusor (APEX & VISTA); CORE helles weißes LED-Ringlicht mit Diffusor
• Substage (durchscheinende) Beleuchtung: APEX & CORE grüne LED-Hintergrundbeleuchtung mit Iris-Einstellung; VISTA kollimierte grüne LED-Beleuchtung
• Lichtsteuerung: in der gesamten Serie vollständig programmierbar
• Messsoftware: M3 / M-Series Software und PC; unterstützt programmierte Inspektion, Mustererkennung, strukturierte Berichte, DXF-Import und Datenexport
• Softwareoptionen / Module: M-Series Module verfügbar zum Erweitern der Funktionalität und Erstellen kundenspezifischer Messroutinen
• Hinweise: Die Messunsicherheit wird gemäß ISO-10360 Teil 7 bestimmt. In den Unsicherheitsformeln ist L = Länge in mm; Werte setzen kontrollierte Bedingungen bei maximaler Vergrößerung und auf der Standardmessfläche voraus.