Glühofen VF-3000H

Schrankmodellelektrischunter Schutzatmosphäre

Ein Vertikalofen für die Ultrahochtemperaturverarbeitung, ideal für die Herstellung von Leistungsgeräten. Er unterstützt 3- bis 6-Zoll-Wafer und verfügt über einen automatischen Wafer-Transfermechanismus. Er kann für Anwendungen von F&E bis zur Massenproduktion eingesetzt werden. Merkmale Unterstützt Losgrößen von Mini-Chargen bis hin zu 50 Wafern und Anwendungen von F&E bis hin zum Einsatz in Massenproduktionslinien. Unterstützt eine breite Palette von Wafergrößen von 3 bis 6 Zoll. Das Innere des Ofens besteht aus unserer patentrechtlich geschützten metallfreien Konstruktion. Ermöglicht die Temperaturüberwachung in Wafernähe. Eine N2-Beladungssperre gehört zur Standardausstattung. Durchsatzstarker Transport von Kassette zu Kassette H2-Atmosphärenglühen mit Grabenverrundung ist als Option erhältlich. Der VF-3000H ist ein Vertikalofen, der Chargen von Mini-Chargen bis hin zu 50 Wafern und ein breites Spektrum an Wafergrößen von 3 bis 8 Zoll verarbeiten kann. Sorgfältig ausgewählte Hardware- und Steuersystemmerkmale ermöglichen Anwendungen von der Forschung und Entwicklung bis hin zum Einsatz in Massenproduktionslinien. Das Innere des Ofens besteht aus unserer patentierten metallfreien Konstruktion. Der VF-3000H ermöglicht die Verarbeitung bei hohen Temperaturen und ist damit ideal für die Herstellung von Leistungsgeräten geeignet. Er kann auch Oxynitrierungen durchführen.