Glühofen VF-5300HLP

KammerHochtemperaturvertikal

Ein Vertikalofen für die Ultrahochtemperaturverarbeitung, ideal für die Herstellung von Leistungsgeräten. Unterstützt 6- bis 8-Zoll-Wafer und verfügt über einen automatischen Wafer-Transfermechanismus. Kann für die Massenproduktion verwendet werden. Merkmale Unterstützt max. 100 Wafer pro Los und den Einsatz in Massenproduktionslinien. Unterstützt eine breite Palette von Wafergrößen von 6 bis 8 Zoll. Das Innere des Ofens besteht aus unserer patentierten metallfreien Konstruktion. Ermöglicht die Temperaturüberwachung in Wafernähe. Eine N2-Beladungssperre gehört zur Standardausstattung. Durchsatzstarker Transport von Kassette zu Kassette H2-Atmosphärenglühen mit Grabenverrundung ist als Option erhältlich. Der VF-5300HLP ist ein Vertikalofen, der maximal 100 Wafer pro Charge und ein breites Spektrum an Wafergrößen von 6 bis 8 Zoll verarbeiten kann. Sorgfältig ausgewählte Hardware- und Steuerungssystemmerkmale ermöglichen den Einsatz in Massenproduktionslinien. Das Innere des Ofens besteht aus unserer patentierten metallfreien Konstruktion. Der VF-5300HLP unterstützt Aktivierungsglühprozesse bei extrem hohen Temperaturen.