Wärmebehandlungsofen VF-5700

OxidationSchrankmodellelektrisch

Dieses Wärmebehandlungssystem führt die Oxidation, Diffusion und CVD von Siliziumwafern, IGBT, Polyimid und dünnen Wafern durch. Da seine Höhe weniger als 3000 mm beträgt, kann dieses Modell leicht eingeführt werden. Es zeichnet sich durch eine kurze Zykluszeit und einen hohen Durchsatz aus. Merkmale Mini-Batch, flexible Stapelverarbeitung von 25 bis 50 Wafern Hoher Durchsatz durch einen Hochleistungsheizer mit schneller Aufheizzeit Ausgestattet mit einem bedienerfreundlichen Hochleistungs-Steuerungssystem Kompakte Größe ohne Stocker Dieser vertikale Diffusionsofen mit kurzer Zykluszeit und hohem Durchsatz verarbeitet 300-mm-Wafer in einem Mini-Batch von jeweils 25-50 Wafern. Da der Platz für den Stocker entfällt, beträgt seine Höhe weniger als 3000 mm, wodurch er leicht eingeführt werden kann. Es gibt viele Fälle, in denen Öfen ohne Stocker eingeführt werden, so dass die Kosten für den Stocker gesenkt werden können. Dank der LGO-Heizung weist der Ofen hervorragende Temperatureigenschaften in einem weiten Bereich von niedrigen bis zu mittelhohen Temperaturen auf. Er eignet sich für die Wärmebehandlung von IGBT, Polyimid, dünnen Wafern und anderen Materialien zusätzlich zu Siliziumwafern.