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Hub: 50 µm - 240 µm
Wiederholbarkeit: 5, 10 nm
... Hub- und Kipptische mit 3 Achsen / Hubtische mit 1 Achse Stellweg in Z / Kippwinkel bis 200 µm / 2 mrad geregelt (bis 240 µm / 2,4 mrad ungeregelt) Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik Spielfreie und hochgenaue ...
Physik Instrumente
... Auflösung bis 20 nrad, hervorragende Positionsstabilität Optischer Ablenkwinkel bis 4 mrad Unterschiedliche Materialien für CTE-Anpassung zwischen Plattform und Spiegel Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik Sub-ms-Ansprechzeit Positionsgeregelte ...
Physik Instrumente
... Messtechnik, Inspektionssysteme, Kalibrierung, Scannen. Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können. ...
Physik Instrumente
... Unbegrenzter Stellbereich Sehr hohe Auflösung Höchstgeschwindigkeit 200°/s DC-, BLDC- und Schrittmotoren Richtungserkennender Referenzschalter Vakuumkompatible Artikel verfügbar Rotationstisch der Referenzklasse Hochpräzise Positionierung durch ...
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... Messtechnik, Inspektionssysteme, Kalibrierung, Scannen. Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können. ...
Physik Instrumente
Wiederholbarkeit: 1 µm
Ladung: 4 kg
... Luftlager verfügt über einen Linearmotorantrieb, vorgespannte Luftlager und einen integrierten optischen Linearencoder. Dieser Tisch bietet eine sehr hohe Präzision bei kleinem Formfaktor. Die Kombination der berührungslosen Baugruppen ...
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Hub: 400, 50, 200, 300, 100 mm
Geschwindigkeit: 1, 0,5 m/s
Wiederholbarkeit: 0,1 µm
... Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung. Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können. Zubehör und Optionen Encoder PIglide Filter ...
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Hub: 50 mm - 350 mm
Geschwindigkeit: 1 m/s
Wiederholbarkeit: 0,25 µm
... Bewegungsplattform 115 mm × 115 mm Stellwege bis 350 mm Niedrige Bauhöhe von 60 mm Auflösung bis 1 nm Produktübersicht Die Tische der PIglide Serie verfügen über einen Servo-Linearmotorantrieb mit vorgespannten Luftlagern und ...
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Hub: 5, 2,5 mm
Geschwindigkeit: 200 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,25 mm
... Direktantrieb. Ausgelegt als parallelkinematisches Mehrachssystem, macht die Plattform sowohl Hub- als auch Kippbewegungen. Dieser Tisch bietet höchste Präzision bei niedriger Bauhöhe. Die Kombination der berührungslosen Baugruppen ergibt ...
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