Drehbarer Positioniertisch A-63x PIglide RL series

motorisiertMehrachsenPräzision

Niedrige Bauhöhe Exzentrizität und Ebenheit < 100 nm Möglichkeit zur Selbsthemmung im Stillstand durch magnetische Vorspannun Produktübersicht Die direktangetriebenen Rotationstische der PIglide RL-Serie sind für höchste Präzision ausgelegt und haben eine flache Bauform. Verschiedene Optionen können zu einer Lösung kombiniert werden, die ideal für Punkt-zu-Punkt Indizierung oder Scannen mit konstanter Geschwindigkeit ist. Die RL-Tische bieten eine überragende Leistung bei Ablaufgenauigkeit, Ebenheit und Taumeln. 3-Phasen-Torquemotor Bürstenlos Nutenlos Geringes Rastmoment Absolutencoder (optional) Absolutencoder liefern eindeutige Lageinformationen, die eine sofortige Feststellung der Position ermöglichen. Somit ist keine Referenzierung beim Einschalten erforderlich, Effizienz und Sicherheit im Betrieb können gesteigert werden. Zubehör und Optionen Inkrementeller oder absoluter Encoder Vakuumdurchführung Selbsthemmung im Stillstand durch magnetische Vorspannung Freie Apertur auf Anforderung PIglide Filter und Druckregler Ein- oder mehrachsige Motion Controller und Servoantriebe Mehrachs-/ kundenspezifische Aufbauten Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung Einsatzgebiete Optische Justage, Waferinspektion, Waferjustage, Messtechnik, Inspektionssysteme, Kalibrierung, Scannen. Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.