Drehbarer Tisch A-68 series

motorisiertMehrachsenPräzision

Durchmesser Bewegungsplattform 365 mm, Durchmesser Apertur 260 mm Niedrige Bauhöhe Exzentrizität und Ebenheit < 300 nm Produktübersicht Die direktangetriebenen Rotationstische der PIglide RLA-Serie sind für höchste Präzision ausgelegt. Sie haben eine flache Bauform und eine große freie Apertur. Die RLA-Tische bieten eine überragende Leistung bei Ablaufgenauigkeit, Ebenheit und Taumeln. 3-Phasen-Torquemotor Bürstenlos Geringes Rastmoment Absolutencoder (optional) Absolutencoder liefern eindeutige Lageinformationen, die eine sofortige Feststellung der Position ermöglichen. Somit ist keine Referenzierung beim Einschalten erforderlich, Effizienz und Sicherheit im Betrieb können gesteigert werden. Zubehör und Optionen Inkrementeller oder absoluter Encoder PIglide Filter und Druckregler Ein- oder mehrachsige Motion Controller und Servoantriebe Mehrachs-/ kundenspezifische Aufbauten Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung Einsatzgebiete Tomografie, Beamline-Systeme, Wafermetrologie, Waferinspektion, Messtechnik, Inspektionssysteme, Kalibrierung, Scannen. Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.