Ideal für Scan-Anwendungen oder hochpräzise Positionierung
Reinraumtauglich
Größe der Bewegungsplattform 160 mm × 200 mm
Stellwege bis 400 mm
Belastbarkeit bis 100 N
Produktübersicht
PIglide Positioniersysteme besitzen einen magnetischen Linearmotor, magnetisch vorgespannte Luftlager und optische Linearencoder: Kontakt- und Reibungsfreie Bewegung für höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit.
Einsatzgebiete
PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen in der Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung.
Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.
Zubehör und Optionen
Encoder
PIglide Filter und Druckregler
Ein- und mehrachsige Motion Controller
XY-Aufbauten und individuelle Konfigurationen
Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung