Z-Positioniertisch P-58 series

Neigungpiezoelektrisch1-Achs

Hochdynamisch, mit großer Apertur • Hub- und Kipptische mit 3 Achsen / Hubtische mit 1 Achse • Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren • Freie Apertur 66 mm × 66 mm • Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren • Messtechnik • Interferometrie • Photonik / integrierte Optik • Lithografie • Nanopositionierung • Scanning-Mikroskopie • Probenausrichtung • Mikrobearbeitung Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich. Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers. Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.