Neigungs-Positioniertisch P-58 series

Zpiezoelektrisch1-Achs

Hub- und Kipptische mit 3 Achsen / Hubtische mit 1 Achse Stellweg in Z / Kippwinkel bis 200 µm / 2 mrad geregelt (bis 240 µm / 2,4 mrad ungeregelt) Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren Freie Apertur 66 mm × 66 mm Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren Einsatzgebiete Messtechnik Interferometrie Photonik / integrierte Optik Lithografie Nanopositionierung Scanning-Mikroskopie Probenausrichtung Mikrobearbeitung Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen. Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich. Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich. Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden.