Linearer Nanopositioniertisch P-753 LISA series

piezoelektrischfür Mikroskopemikrometrisch

Geführter Stelltisch und Aktor zugleich Stellweg bis 38 µm Auflösung 0,1 nm Besonders schnelles Ansprechverhalten durch Direktantrieb Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren Einsatzgebiete Scanning-Mikroskopie Messtechnik Prüfverfahren und Qualitätssicherung Photonik Faserpositionierung Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen. Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich. Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich. Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.