Lineare Nanopositioniertische

Hub: 100, 200, 300 mm
Geschwindigkeit: 5 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,015 µm - 0,02 µm

Nanometer-Linearachse HV / UHV, 100 - 300 mm Verfahrweg, 0.02 µm Wiederholgenauigkeit, bis 10 kg Last • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10E-11 mbar • Schmierung: flüssig bis 10E-8 mbar / trocken bis 10E-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: ...

Hub: 25, 50 mm
Geschwindigkeit: 0,2 m/s
Wiederholbarkeit: 75 nm

... Leistung und hohe Tragfähigkeit •Maximiert den Prozessdurchsatz und die Zuverlässigkeit mit eisenlosem, direkt angetriebenem Linearmotor Der ANT95LZ ist ideal für mehrachsige Anwendungen, die eine hohe Präzision und ...

Hub: 100 µm
Ladung: 21 g

• Parallelkinematisches Design für höchste Steifigkeiten in allen Raumrichtungen • Hochdynamische Bewegungen mit Lasten bis zu 100 g durch hohe Resonanzfrequenzen • Innovatives Produktdesign durch eine einzige, flexibel einsetzbare ...

Hub: 0,4, 0,2, 0,1 mm

... Die NPX Piezo Stack Lineartische bieten lange Verfahrwege und Sub-Nanometer-Auflösung in einer, zwei oder drei Achsen in einem kompakten Gehäuse. Sie zeichnen sich durch eine schnelle Reaktion und ein schnelles Einschwingverhalten aus, ...

Hub: 800 µm
Geschwindigkeit: 17 m/s
Wiederholbarkeit: 6 nm

... Der OP800 Piezo Objective Scanner bietet die schnellste Schritt- und Einschwingzeit aller verfügbaren Objektivpositionierer. Durch den Einsatz von Sensoren mit kapazitiver Rückkopplung bietet er außerdem eine marktführende Positioniergenauigkeit ...

Der IKO Nano-Linearmotor besitzt eine ausgezeichnete Performance, wie z.B. Magneten und ein optisches Wegmesssystem im Führungswagen sowie Statorspulen und einen optischen Lesekopf im Tischbett. Als Führung für die Positionierung wird ...

Hub: max 16.0 µm

Die Piezo-Positioniertische PXY basieren auf Piezo-Aktoren, welche mittels Festkörpergelenken dynamisch mit der Genauigkeit im Nanometerbereich präzise positionieren können. Die Piezo-Tische und Piezo-Scan-Antriebssysteme erreichen Positionierwege ...

Hub: 5 mm - 80 mm

... Führungstisch-Serie Mini-Bohrung ø4,5 bis 32 mm. Standardauswahl an Tischtypen mit kompakter, hochsteifer Linearführung. Eine breite Palette von Optionen ermöglicht eine große Freiheit bei der mechanischen Gestaltung. Hubverstellung durch ...

Hub: 1 mm

... Der piezoelektrische Nanopositioniertisch ZSA-1000C von DSM verfügt über eine biegegegeführte Bewegung über einen vertikalen Verfahrweg von 1 mm für Scan-, Mess- und Inspektionsprozesse. Das stabile und steife kinematische ...