Linearer Nanopositioniertisch NPX series

piezoelektrisch3-Achskompakt

Die NPX Piezo Stack Lineartische bieten lange Verfahrwege und eine Sub-Nanometer-Auflösung in einer, zwei oder drei Achsen in einem kompakten Gehäuse. Sie zeichnen sich durch eine schnelle Reaktion und ein schnelles Einschwingverhalten aus und können daher in dynamischen Prozessen wie Hochfrequenz-Fehlerkompensation, Tracking, schnellem Stepping oder kontinuierlichem Scanning eingesetzt werden. -Auflösung der piezoelektrischen Positionierung im Subnanometerbereich -Bewegung in X, XY oder XYZ -Piezoelektrischer Verfahrbereich von bis zu 400 µm -Optionaler integrierter Dehnungsmessstreifen für den Closed-Loop-Betrieb -Hohe Resonanzfrequenz für hochdynamische Anwendungen -Erhältlich in Vakuum-Ausführung Merkmale Sub-Nanometer-Positionierungsauflösung Mit einer Positionierauflösung von nur 0,2 nm kann der NPX Piezo Stack Lineartisch ultrafeine Einstellungen vornehmen, wobei die Auflösung nur durch das Rauschen der Steuerelektronik begrenzt wird. Großer piezoelektrischer Verfahrbereich Die NPX Piezo Stack Lineartische verfügen über hochzuverlässige, mehrlagige, piezoelektrische Niederspannungs-Transducer-Stacks für hochbelastete Anwendungen. Ein ausgeklügeltes, FEA-optimiertes Parallelogramm-Flexionsführungssystem gewährleistet eine perfekte Parallelbewegung und einen Verfahrbereich von bis zu 400 µm. Aufgrund des reibungsfreien Führungsprinzips sind die NPX Piezo Stack Lineartische wartungs- und verschleißfrei. Außerdem wird die Empfindlichkeit der Ausgangsbewegung nicht durch mechanische Reibung beeinträchtigt. Optionaler integrierter Dehnungsmessstreifen für Closed-Loop-Betrieb Die Closed-Loop-Systeme (-SG-Modelle) verfügen über hochauflösende Dehnungsmessstreifen-Positionssensoren für hochgenaue und wiederholbare Bewegungen, die auch das Kriechen des Aktors kompensieren. Der Aufbau erfolgt als vollständige Wheatstone-Brücke und ist temperaturunempfindlich.