Z-Nanopositioniertisch Model ZSA-1000C
vertikalpiezoelektrischer1-Achs

Z-Nanopositioniertisch
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Eigenschaften

Ausrichtung
Z, vertikal
Typ
piezoelektrischer
Achszahl
1-Achs
Weitere Eigenschaften
Edelstahl, Hochgeschwindigkeit
Hub

1 mm (0,039 in)

Max: 1 mm (0,039 in)

Min: 0 mm (0 in)

Beschreibung

Der piezoelektrische Nanopositioniertisch ZSA-1000C von DSM verfügt über eine biegegegeführte Bewegung über einen vertikalen Verfahrweg von 1 mm für Scan-, Mess- und Inspektionsprozesse. Das stabile und steife kinematische Design fördert die Parallelität in der Abtriebsbewegung bei minimalem Roll- und Kippaufwand sowie die dynamische Reaktionsfähigkeit für hervorragende Positionsstabilität und Kontrolle. Der Tisch kann mit dem SA-500 von DSM zur Regelung mit einer hochauflösenden kapazitiven Sonde kombiniert werden, um eine Positionsstabilität von 20 nm und sehr stabile Geschwindigkeitsprofile über bestimmte Scanbereiche zu gewährleisten. - Open-Loop-Regelung: 1050 Mikrometer ± 10% - Geschlossener Regelkreis: 1000 Mikron ± 10% - Closed-Loop-Auflösung: 20 Nanometer typisch Steifigkeit: 0,4 N/mikron ± 10% - Linearität: 0,12% typisch - Auslauf (Ɵх, Ɵу): <100 Mikroradius typisch - Unbelastete Resonanzfrequenz: 200 Hz ± 10% - Resonanzfrequenz @100g: 150 Hz ± 10% 10% - Druck-/Zugkraftkapazität: 75/150 N Max - Tragfähigkeit: 75 N Max - Seitenkraft: 10 N max - Elektrische Kapazität: 30 Mikro-Faraden ± 10% - Breite x Länge: 62,5 x 125 mm - Höhe: 25,1 ± 0,1 mm - Masse: 1 Kilogramm ± 10% - Material: Rostfreier Stahl - Kabellänge: 1,5 Meter Die Struktur des ZSA-1000C ermöglicht den Einsatz einer Vielzahl von Wegsensoren, einschließlich kapazitiver Sonden (Standard) für eine echte Nanopositionierung. Der Servoverstärker SA-500 von DSM bietet eine eigenständige Regelung mit serieller Kommunikation, analoger oder digitaler Rückmeldung und digitaler I/O für zusätzliche Steuerungs- und Kommunikationsmöglichkeiten.

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Kataloge

* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.