Schmelztiegel für die Halbleiterindustrie

Keramikfür HochtemperaturanwendungenAluminium

Produktübersicht
Die leitfähigen Bornitrid-Tiegel von INNOVACERA sind für Elektronenstrahl- und thermische Verdampfungsprozesse in der Halbleiter- und Dünnschichtfertigung ausgelegt. Die leitfähige, schlecht benetzbare Oberfläche und die hochreine Zusammensetzung schützen Bauteile vor Kontamination und ermöglichen eine kontrollierte Verdampfung von Metallen und keramischen Werkstoffen. Einsetzbar zum Legierschmelzen, Sintern von Seltenen Erden und Keramiken sowie für unterschiedliche Beschichtungsverfahren.

Haupteigenschaften und Anwendungen
Diese leitfähigen Bornitrid-Tiegel zeichnen sich durch ausgezeichnete Hochtemperatureigenschaften und Thermoschockbeständigkeit aus. Sie sind chemisch stabil gegenüber vielen Metallen und seltenen Erdenkeramiken und bleiben auch bei schnellem Aufheizen und Abkühlen intakt. Typische Anwendungen: Elektronenstrahlverdampfung, thermische Verdampfung mittels Induktion oder Widerstandsheizung, Aluminium- und Siliziumbeschichtung sowie weitere Dünnschichtabscheidungsverfahren.

Vorteile

• Hohe Reinheit und feine Oberflächenbeschaffenheit reduzieren Kontamination und verbessern die Filmqualität.
• Erhöhte Verdampfungsraten ermöglichen schnellere Beschichtungen und verkürzte Zykluszeiten.
• Verbesserte thermische Stabilität senkt den Energiebedarf und erhöht die Prozessstabilität.
• Lange Lebensdauer reduziert Ausfallzeiten und Austauschhäufigkeit.

Vorteile / Merkmale

• Hervorragende Beständigkeit gegen hohe Temperaturen und wiederholte Wärmezyklen.
• Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient und geringe Benetzbarkeit durch die meisten geschmolzenen Metalle.
• Hitzebeständig bis 2000℃; Bornitrid reagiert nicht mit Aluminium und ist nicht flüchtig.
• Erhöhte Verdampfungsrate: kürzere Prozesszyklen und verbesserte Gesamtausbeuten.
• Schneller Materialwechsel: minimiert Standzeiten der Kammer und beschleunigt Produktionswechsel.
• Verbesserte thermische Stabilität gewährleistet konsistentes und kontrollierbares Verdampfungsverhalten.

Technische Daten

• Hauptbestandteile: BN + TiB2
• Dichte: 3.0 g/cm3
• Bindemittelzusammensetzung: B2O3
• Farbe: Grau
• Widerstand bei Raumtemperatur: 300-2000 Ω·cm
• Betriebstemperatur: unter 1800℃
• Wärmeleitfähigkeit: > 40 W/m·K
• Wärmeausdehnungskoeffizient: (4-6) x 10⁻⁶ K⁻¹
• Biegefestigkeit: > 130 MPa
• Verdampfungsrate: 0.35-0.5 g/min·cm²