Pyrolytisches Bornitrid ist eine Qualität von hexagonalem Bornitrid. Es wird durch das chemische Gasphasenabscheidungsverfahren hergestellt, um seinen festen Körper zu erzeugen, und alle Bornitridkristalle wachsen parallel zur Oberfläche, auf der der Dampf abgeschieden wird.
Aufgrund der Natur des CVD-Verfahrens werden PBN-Teile in der Regel mit einer Wandstärke von nicht mehr als 3 mm angefordert. PBN ist auch eine gute Wahl für die extrem hohe Reinheit von Bornitrid. 99,99 % ist die typische Qualität. Das CVD-Verfahren verleiht diesem pyrolytischen Bornitrid eine nahezu perfekte Schichtstruktur, die zu einer anisotropen Wärmeleitfähigkeit führt und es zu einem idealen Material für die Herstellung von Tiegeln für das Kristallwachstum macht.
Anwendungen von pyrolytischen Bornitridkeramiken:
- Kristallwachstum (VGF, LEC-Tiegel)
- Molekularstrahlepitaxie (MBE) Tiegel
- MOCVD-Heizung
- PBN-Infrarotfenster
- Wanderwellenröhre (TWT) (PBN-Stützstab)
- PBN-Beschichtung von Graphit
- Isolator für Hochtemperatur-Vakuumgeräte
Eigenschaften von pyrolytischen Bornitridkeramiken:
- Die Farbe von PBN ist elfenbeinfarben und orange-braun, ungiftig, porenfrei, leicht zu verarbeiten.
- Die Reinheit beträgt bis zu 99,99 %, Oberflächendensifikation, gute Gasbarriereeigenschaften.
- Die Festigkeit nimmt mit steigender Temperatur zu und erreicht bei 2200°C ihren Höhepunkt.
- Säure-, Alkalien-, Salz- und organische Reagenzienbeständigkeit. Außerdem reagiert es nicht mit den meisten geschmolzenen Metallen und Halbleitermaterialien.
- Hervorragende Beständigkeit gegen thermische Schocks, hervorragende Wärmeleitfähigkeit, niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient.
- Hohe Widerstandsfähigkeit, hohe dielektrische Festigkeit, niedrige dielektrische Konstante, niedriger Verlustfaktor, hervorragende Mikrowellen- und Infrarotstrahlfähigkeit.
- Anisotropie in den mechanischen, thermischen und elektrischen Eigenschaften.
Eigenschaften von pyrolytischen Bornitridkeramiken:
Eigenschaft | Einheit | Wert
---|---|---
Gitterkonstante | μm | a: 2,504 x 10^-10 c: 6,692 x 10^-10
Dichte | g/cm3 | 2,10-2,15 (PBN-Tiegel); 2,15-2,19 (PBN-Platten)
Mikrohärte (Knoop)(ab-Seite) | N/mm2 | 691,88
Widerstandsfähigkeit | Ω*cm | 3,11 x 10^11
Zugfestigkeit | N/mm2 | 153,86
Biegefestigkeit | N/mm2 | 243,63 (⊥C), 197,76 (⊥C)
Elastizitätsmodul | N/mm2 | 235690
Wärmeleitfähigkeit | W/m*k | “a”-Richtung 60 (200°C), “c”-Richtung 2,60 (200°C)
Dielektrische Festigkeit (bei Raumtemperatur) | KV/mm | 56
Wichtige Spezifikationen:
- Material: Pyrolytisches Bornitrid (PBN)
- Reinheit: Bis zu 99,99 %
- Produktionsmethode: Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)
- Anwendungen: Kristallwachstum, MBE-Tiegel, MOCVD-Heizungen, IR-Fenster, TWT-Stützstäbe, Graphitbeschichtung, Hochtemperaturisolatoren
- Wärmeleitfähigkeit: Anisotrop, bis zu 60 W/m*K (a-Richtung bei 200°C)
- Dielektrische Festigkeit: 56 KV/mm bei Raumtemperatur
- Dichte: 2,10-2,19 g/cm³ je nach Form
- Farbe: Elfenbein bis orange-braun
- Hervorragende chemische Beständigkeit und Beständigkeit gegen thermische Schocks