Die Siliziumnitrid-Substrate (Si₃N₄) von Innovacera vereinen außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit, hohe mechanische Festigkeit und ausgezeichnete Bruchzähigkeit und bieten so eine herausragende Zuverlässigkeit für Hochleistungselektronik und Wärmemanagementanwendungen. Mit einem Wärmeausdehnungskoeffizienten, der eng an den von Silizium angeglichen ist, und einer überragenden Temperaturwechselbeständigkeit sorgen diese Substrate für eine stabile Leistung unter extremen Bedingungen. Ihre präzisionsgefertigten Oberflächen und anpassbaren Spezifikationen machen sie ideal für IGBT-Leistungsmodule, Hochleistungskühlkörper und moderne drahtlose Module.Merkmale:Hohe WärmeleitfähigkeitWärmeausdehnungskoeffizient nahe am SiliziumwaferHohe Festigkeit und ZähigkeitAnwendung:Hochleistungs-IGBT-LeistungsmodulHochleistungskühlkörperDrahtlosmodulMaterialeigenschaften Tabelle:EigenschaftPrüfbedingungenEinheitSi₃N₄ (SN-90)Material--Si₃N₄Erscheinungsbild--grauOberflächenrauhigkeitRaμm0,2~0,75Dichte-g/cm³≥3.2Biegefestigkeit3-Punkt-BiegefestigkeitMPa≥750VickershärteBelastung 4.9GPa≥14Wasseraufnahme-%0Wärmeleitfähigkeit25℃W/(m-k)≥85Linearer Wärmeausdehnungskoeffizient25-500℃x10-⁶ mm/℃2~4Thermische Stoßfestigkeit800℃Time≥10Spezifische Wärme-J/(kg-K)680Dielektrizitätskonstante1MHz/25℃-7~8Dielektrischer Verlust1MHz/25℃x10-⁴≤4Volumen widerstand25℃Ω-cm>10¹⁴Durchschlagsspannung-kV/mm>15ReflexionsvermögenReflexionsmesser--WeißgradWeißgradmesser--Spezifikationen und Abmessungen:MaterialEinheitSi₃N₄Effektive Abmessungen (A, B)mm138*190Dicke (T)mm0.25, 0.32Dickentoleranzm±5% (Min ±0.03mm)Verzug (C)mm≤0.3%Oberflächenrauhigkeitμm0.2-0.75Größe, Dicke und Oberflächenrauhigkeit können kundenspezifisch angepasst werdenBearbeitung:LaserbearbeitungSchleifen und Polieren von BlechrauhigkeitstabelleProjektQualifiziertBesonderheitToleranz der Innenabmessung±0.05mm±0.03mmToleranz der Außenabmessung±0.15mm±0.1mmLochtoleranz (φ0.07-0.15mm)±0.05mm±0.02mmLochtoleranz (φ>0.15mm)±0.1mm±0.02mmSchleifflächenrauhigkeit (μm)0.3-0.60.3-0.5Feinschleifflächenrauhigkeit (μm)0.1-0.40.1-0.3Polierflächenrauhigkeit (μm)≤0.1≤0.05Verwandte Tags: hochfestes Keramiksubstrat, Si3N4-Keramiksubstrat, Si3N4-Substrat für Leistungsmodul, Siliziumnitrid-SubstratTechnische Eigenschaften / Spezifikationen:Material: Siliziumnitrid (Si₃N₄)Farbe: GrauOberflächenrauhigkeit: 0,2~0,75 μmDichte: ≥3,2 g/cm³Biegefestigkeit: ≥750 MPaVickershärte: ≥14 GPaWasseraufnahme: 0%Wärmeleitfähigkeit: ≥85 W/(m-k)Linearer Wärmeausdehnungskoeffizient: 2~4 x10-⁶ mm/℃Thermische Stoßfestigkeit: ≥10 mal bei 800℃Spezifische Wärme: 680 J/(kg-K)Dielektrizitätskonstante: 7~8 (1MHz/25℃)Dielektrischer Verlust: ≤4 x10-⁴ (1MHz/25℃)Volumenwiderstand: >10¹⁴ Ω-cm (25℃)Durchschlagsspannung: >15 kV/mmNutzbare Abmessungen: 138*190 mmDicke: 0,25, 0,32 mmDickentoleranz: ±5% (Min ±0,03mm)Verzug: ≤0,3%Bearbeitung: Laserbearbeitung, Schleifen, PolierenAnpassbare Größe, Dicke und Oberflächenrauhigkeit
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