FIB/SEM-Mikroskop Helios 5

für Qualitätskontrollefür Materialforschung3D

Fokussiertes Ionenstrahlfräsen und Femtosekundenlaserablation Die Helios 5 PFIB-Lasersysteme von Thermo Scientific kombinieren das Fräsen mit fokussierten Ionenstrahlen mit Femtosekunden-Laserablation und REM-Abbildung (Rasterelektronenmikroskopie). Diese "TriBeam"-Kombination ermöglicht eine hochauflösende Bildgebung und Analyse mit In-situ-Abtragsfunktion und bietet beispiellose Materialabtragsraten für eine schnelle Charakterisierung im Millimeterbereich mit Nanometerauflösung. Der Femtosekundenlaser kann viele Materialien mit einer Geschwindigkeit schneiden, die um Größenordnungen schneller ist als bei einem typischen FIB. Ein großer Querschnitt (Hunderte von Mikrometern) kann in weniger als fünf Minuten erzeugt werden. Da der Laser über einen anderen Abtragsmechanismus verfügt (Ablation im Gegensatz zum Ionensputtern bei der FIB), lassen sich auch schwierige Materialien wie nichtleitende oder ionenstrahlempfindliche Proben problemlos bearbeiten. Die extrem kurze Dauer der Femtosekunden-Laserpulse führt fast zu keinen Artefakten wie Hitzeeinwirkung, Mikrorissen, Schmelzen oder den für das herkömmliche mechanische Polieren typischen Erscheinungen. In den meisten Fällen sind die lasergeschliffenen Oberflächen sauber genug für die direkte REM-Abbildung und sogar für oberflächenempfindliche Techniken wie die Elektronenrückstreuungsbeugung (EBSD). Wir bieten ein breites Produktportfolio und fortschrittliche Automatisierungsmöglichkeiten für Anwendungen wie die Probenvorbereitung für die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM), die Atomsondentomografie (APT) und die 3D-Strukturanalyse.