DC/DC-Netzteil ECD

ISO

Anwendungsbereiche: Elektrostatisch angetriebenes Materialhandling, Halbleiter-Wafer-Verarbeitung, nicht-mechanischer Transfer von flachen Platten oder anderen verarbeiteten Materialien, die empfindlich auf mechanische Handhabung reagieren. Wismans ECD-Serie von softwaregesteuerten elektrostatischen Chuck-Stromversorgungen bietet eine Reihe von Merkmalen, um eine Vielzahl von anspruchsvollen Anwendungen zu erfüllen. Das Gerät enthält die Wisman-Verstärkertechnologie, die nachweislich die Effizienz und den Durchsatz um das Dreifache im Vergleich zu anderen Stromversorgungen erhöht. Reduzierung von Gasfehlern auf der Rückseite, Erhöhung des Durchsatzes und Beseitigung von Wafer-Sticking/Popping-Problemen; Steuerung von Parametern wie Überstrom, Wafer-Präsenz und Wafer-Clamp-Schwellenwerte, Clamp-Spannung, Offset-Spannung und interne oder externe Amplituden-/Offset-Steuerung; Vielseitigkeit bei der Amplituden-/Offset- und Ausgangssteuerung während der Einstellung; Steuerung des Ausgangs über rückseitige E/A, serielle Computerbefehle oder Bedienelemente auf der Vorderseite; Konfiguration von benutzerdefinierten Clamping- und Declamping-Sequenzen und Wellenformen. Die vielseitige und bewährte Leistung des ECD von Wisman ermöglicht den Einsatz in einer Vielzahl von einzigartigen Werkzeugen und Prozessen, ohne dass für jedes einzelne Werkzeug oder jeden Prozess in der Anlage neue Kosten anfallen. Merkmale: Abschließbare Frontplatten-Steuerungsschnittstelle. Jedes Gerät wird mit einem rückführbaren Kalibrierungszertifikat geliefert. Unterstützt Coulombic und Johnsen-Rahbek ESC Technologien. Elektrostatische Chuck-Profile werden über eine benutzerfreundliche Softwareschnittstelle auf das Gerät hochgeladen und gespeichert und intern gespeichert. Wafer-Erkennung, einschließlich keine Wafer, Wafer vorhanden oder Wafer-Klemmstatus. Beschreibung der Merkmale: Spannungsanzeige: Proportional: 1V/ 300 V B-Phase DC: Genauigkeit besser als 0,5% vom Skalenendwert