Spannungsverstärker ECA

SchaltHochspannungbipolar

Typische Anwendung: Elektrostatisch angetriebener Materialtransport, Halbleiter-Wafer-Verarbeitung, nicht-mechanischer Transfer von flachen Platten oder anderen verarbeiteten Materialien, die empfindlich auf mechanische Handhabung reagieren Die ECA-Serie sind Hochspannungsverstärker für elektrostatische Chucks (E-Chuck, ESC). Zusätzlich zur Polaritätsumschaltung und Zwangserdung bietet diese Serie auch ein Wafer-Überwachungssystem für Wafer-Inspektionsanforderungen. Mit einem breiten Spannungsbereich unterstützt die Serie außerdem elektrostatische Chucks nach Coulomb und Johnsen-Rahbek. Merkmale und Vorteile: Zuverlässige Erkennung des Spann-/Freigabezustands durch Wafersensor Schnelles Ansprechen der Verstärkerarchitektur ("keine Relais-Polaritätsumkehr" für hohe Zuverlässigkeit und lange Lebensdauer) "Unabhängige Zweikanalsteuerung (Option)" und "Einstellung der Mittelabgriffsspannung (Option)" für verschiedene Spann-/Lösevorgänge Ausgestattet mit LAN, USB, RS-232C Digitalschnittstelle Eingebauter RF-Tiefpassfilter (13,56 MHz) Wahlweise CT Vorspannung für Mittelabgriff 0 bis ±[maximale Tarifspannung - Spannungssollwert] Wahlweise ET Ethernet CAT-Schnittstelle Wahlweise DS Zweikanalige unabhängige Steuerung Wahlweise AC AC 100V bis 240V 1 φ Eingang Wahlweise L7 Ausgangshochspannungskabel 7m x 3 (2, wenn CT oder DS gewählt wird)