Typische Anwendungen:
Rasterelektronenmikroskope (SEM)
Elektronenstrahl-Steuerung
Die SEM-Serie von Wisman ist ein integriertes Hochspannungsnetzteil mit mehreren Ausgängen, das speziell für den Betrieb von Säulen für Rasterelektronenmikroskope (SEM) entwickelt wurde. Wismans umfangreiches Wissen in diesem Bereich hat uns in die Lage versetzt, eine Reihe von Technologieplattformen zu entwickeln, die an die anspruchsvollen Anforderungen des SEM angepasst werden können.
Die Hauptbeschleunigungsspannung ist eine hochstabile 30kV-Versorgung mit integrierten erdfreien Filament-, Extraktor- und Suppressor-Ausgängen, die zur Ansteuerung von Feldemissions-, Kaltkathoden- und Schottky-Elektronenquellen in einer kompakten Lösung mit Erweiterungen für die Montage in einem 19"-Rack erforderlich sind. Alle Ausgänge zeichnen sich durch eine extrem niedrige Ausgangswelligkeit, hervorragende Regelung, Stabilität, Temperaturkoeffizient, Drift und Genauigkeit aus. Die Isolierung und Steuerung der jeweiligen Floating-Quellen erfolgt über die von Wisman entwickelten Hochspannungsisolationstechniken.
Die Kundensteuerung dieses integrierten Stromversorgungssystems der SEM-Serie erfolgt über eine Glasfaserschnittstelle. Alle Hochspannungs-Sicherheitsverriegelungen sind ausfallsicher und hardwarebasiert. Das SEM ist CE-gekennzeichnet und entspricht den geltenden IEC-, UL- und SEMI-Normen. Das SEM von Wisman bietet eine außergewöhnliche Leistung mit geringer Restwelligkeit, Mikroentladung und ppm-Pegelstabilität für eine beispiellose Bildqualität und Auflösung.
Spezifikationen
Einschaltstromstärke: <6 Ampere für 1 Sekunde.
Schmelzsicherung: Eine 5 x 20 mm große Keramiksicherung, die von außen auswechselbar und mit dem Sicherungswert gekennzeichnet ist.
Ableitstrom: < 200μA zum Gehäuse
Spannung: 0V bis -30kV Volllast gegen Erde
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