TYPISCHE ANWENDUNG
Transmissions-Rasterelektronenmikroskopie,Rasterelektronenmikroskopie,Halbleiteranalyse,Fräsen und Reparatur,Ionenstrahl-Ätzen,Fokussierte Ionenstrahl-Lithographie
Die EIB-Serie von Wisman ist ein umfassendes Hochspannungsnetzteil mit mehreren Ausgängen für die Fokussierung von Ionenstrahlen. Typische Anwendungen sind Transmissions- und Rasterelektronenmikroskope, Halbleiteranalyse, Fräsen und Reparatur von optischen Antriebsköpfen, Ionen, Ionenstrahlätzen und fokussierte Ionenstrahllithographie. Die modulare Bauweise ermöglicht die einfache Konfiguration und Montage einzelner Komponenten auf einem großen Chassis in einem gemeinsamen Rack. Schnittstellen-, Logik- und Steuerschaltungen sind in Oberflächenmontagetechnik ausgeführt, um Kosten und Größe zu minimieren. Integrierte Beschleunigungsstromversorgung, Filamentstromversorgung, absorbierende polare Leistung, inhibierende polare Leistung und Linsenleistung. Ultra-niedrige Ausgangswelligkeit, hervorragende Anpassungsrate, Stabilität, Temperaturdrift und Genauigkeit. Patentierte Hochspannungsaufhängung und digitale Steuerungstechnik. Die hochpräzisen Module der EIB-Serie sind preislich konkurrenzfähig und eignen sich ideal für OEM-Anwendungen.
Beschleunigernetzteil :
Ausgangsstrom: 30μA
Restwelligkeit: 200 mV P-P, von 0,1 Hz bis 1MHZ
Leitungsregelung: Eingangsänderung + / -10% für 100mV
Lastregelung: ± 0,01%, maximale Spannung, volle Laständerung
Stabilität: 1,5V/10 Stunden nach einer Aufwärmzeit von 2 Stunden
Temperaturkoeffizient: 25 PPM/°C
Filament-Stromversorgung
Ausgangsspannung: 0 bis 5 VDC
Restwelligkeit: 10mA P-P, von 0,1 Hz bis 1MHZ
Leitungsregelung: + / -10% Änderung auf 5mA
Lastregelung: ± 0,1%, maximale Spannung, Volllastwechsel
Stabilität: 5mA/10 Minuten nach einer Aufwärmzeit von 2 Stunden
Temperaturkoeffizient: 200 PPM/°C
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