DC/DC-Netzteil EC

ISO

Anwendung: Elektrostatisch angetriebener Materialtransport, Halbleiter-Wafer-Verarbeitung, nicht-mechanischer Transfer von flachen Platten oder anderen verarbeiteten Materialien, die empfindlich auf mechanische Handhabung reagieren Wismans EC-Serie von softwaregesteuerten elektrostatischen Sauger-Stromversorgungen bietet eine Reihe von Merkmalen, um eine breite Palette von anspruchsvollen Anwendungen zu erfüllen. Das Gerät verwendet die Wisman-Verstärkertechnologie, die nachweislich die Effizienz und den Durchsatz im Vergleich zu anderen Stromquellen um das Dreifache erhöht. Reduzierung von Gasfehlern auf der Rückseite, Verbesserung des Durchsatzes und Beseitigung von Wafer-Stick-/Burst-Problemen; Steuerung von Parametern wie Überstrom, Vorhandensein von Wafer- und Wafer-Clamp-Schwellenwerten, Clamp-Spannung, Offset-Spannung und internen oder externen Amplituden-/Offset-Steuerungen; Vielseitigkeit der Amplituden-/Offset- und Ausgangssteuerung während der Einstellung; Steuerung des Ausgangs über rückseitige E/A, serielle Computerbefehle oder Bedienelemente auf der Vorderseite; Konfiguration von benutzerdefinierten Clamp- und Clamp-Entfernungssequenzen und Wellenformen. Die vielseitige und bewährte Leistung des EC von Wisman ermöglicht den Einsatz in mehreren einzigartigen Werkzeugen und Prozessen, ohne dass für jedes einzelne Werkzeug oder jeden Prozess in der Anlage neue Kosten anfallen. Produktmerkmale: Abschließbare Frontplatten-Steuerungsschnittstelle; Jedes Gerät wird mit einem rückführbaren Kalibrierungszertifikat geliefert; Unterstützt Coulombic und Johnsen-Rahbek ESC Technologien; In diesem Abschnitt wird beschrieben, wie die Konfigurationsdatei einer elektrostatischen Spannvorrichtung in das Gerät hochgeladen und über eine benutzerfreundliche Software-Schnittstelle im Gerät gespeichert wird; Die Wafer-Erkennung umfasst den Zustand "Wafer frei", "Wafer vorhanden" oder "Wafer eingespannt"; Merkmal: Eingang: DC24V, 2A; Ausgang: Ausgangsphase Spannungsanzeige: Verhältnis: 1V/ 200 V