Park NX-Mask ist das effektivste, sicherste und effizienteste Fotomasken-Reparatursystem für hochwertige EUV-Maskenreparaturen. Es bietet eine All-in-One-Lösung - von der automatischen Fehlerprüfung bis hin zur Reparatur und Verifizierung - und beschleunigt den Durchsatz mit beispielloser Reparatureffizienz.
Hauptmerkmale
✔ Kein Beschädigungsrisiko und nahtlose Reparatur aller Arten von Defekten
✔Kompatibel mit einem Dual-Pod für die Handhabung von EUV-Masken
✔All-in-One-Lösung für die Lokalisierung von Defekten und die Verifizierung nach der Reparatur
---