AFM-Mikroskop NX20

für ForschungszweckeOberflächenrauheitmodulares

Park NX20 ist eine AFM-Plattform für alle Forschungslabore, die mit Proben bis zu 200 mm arbeiten. Von akademischen Anwendungen über Halbleiter und Fehleranalyse bietet NX20 einzigartige Funktionen wie genaue und reproduzierbare Messungen mit entkoppeltem XY-Scansystem, Oberflächenrauhigkeitsmessungen mit rauscharmem Z-Detektor, True Non-Contact™ Mode, der die Schärfe der Spitze für die Genauigkeit der Oberflächenrauhigkeit gewährleistet, eine breite Palette von hochauflösenden Scanmodi und ein modulares Design. Das NX20 ist in der Halbleiter- und Festplattenindustrie aufgrund seiner Datengenauigkeit und reproduzierbaren Messungen weit verbreitet und verbessert die Produktivität und die analytische Effizienz. Die 300-mm-Version - der Park NX20 300mm - unterstützt einen vollen motorisierten Verfahrbereich von 300 mm x 300 mm und kann einen gesamten 300-mm-Wafer effizient prüfen, ohne dass eine umständliche Probenverschiebung erforderlich ist. Technische Hauptmerkmale: 2D-Biegescanner mit 100 µm x 100 µm Scanbereich * Hochgeschwindigkeits-Z-Scanner mit 15 µm Scanbereich * Geräuscharmer XYZ-Positionssensor * Motorisierter XY-Probentisch mit optionalen Encodern * Step-and-Scan-Automatisierung * Zugänglicher Probenhalter * Erweiterungssteckplatz für erweiterte SPM-Modi und -Optionen * Direkt auf der Achse befindliche Hochleistungsoptik mit integrierter LED-Beleuchtung * Automatische Einrastung durch Slide-to-Connect SLD-Kopf * Vertikal ausgerichteter motorisierter Z-Tisch und Fokustisch * Hochgeschwindigkeits-Digitalelektronik mit 24 Bit