Metrologie für Wafer NanoSpec® II

Das Nanopsec II-Filmanalysesystem, das sowohl als Tischgerät als auch als Standalone-System erhältlich ist, schließt den Kreislauf zwischen Entwicklungs- und Forschungsaktivitäten und der endgültigen Verwendung der Rezepte und Analysealgorithmen in der Produktion Produktübersicht Das NanoSpec II erweitert die Reichweite und Leistung der bewährten NanoSpec-Serie und bietet ein neues Design mit automatischer Probenausrichtung, schnellem Autofokus und einer Messwiederholbarkeit von besser als 1Å*. Das System kann mit der spektroskopischen Reflektivitätsanalyse-Software von Onto Innovation, der Bildverarbeitung für die automatische Musterausrichtung und verschiedenen optischen Konfigurationsoptionen ausgestattet werden, was das NanoSpec II automatisch zum leistungsfähigsten Dünnschichtsystem seiner Klasse macht. Das NanoSpec II ist voll kompatibel zu den Materialkarten der vorherigen Generationen von Nanospec-Produkten. Zusätzlich können viele von Woollam® Ellipsometern erstellte Dispersionsmodelle importiert und ohne Konvertierung verwendet werden. Das Nanopsec II ist sowohl in Tisch- als auch in Standalone-Konfigurationen erhältlich und schließt den Kreislauf zwischen Entwicklungs- und Forschungsaktivitäten und der endgültigen Verwendung von Rezepten und Analysealgorithmen in der Produktion. Die einfache Portabilität von Rezepten ermöglicht die Entwicklung von Rezepten außerhalb der Produktionslinie, ohne den Standardproduktionsfluss zu stören. Verschiedene Optionen zur Offline-Datenanalyse ermöglichen es den Ingenieuren, Exkursionen innerhalb des Prozesses jederzeit neu zu verarbeiten, auch wenn die ursprüngliche Probe nicht mehr verfügbar ist. Die Optik wurde so konzipiert, dass sie eine zuverlässige und robuste Messtechnik bietet, während der Wartungsaufwand auf ein Minimum reduziert wird.