ÜbersichtErfasst die 2D-Verteilung von Spannung (Retardation) an Proben mit geringer Phasendifferenz wie Halbleiterwafern, farbigem Glas und gefärbten Acrylharz-Produkten. Messbar bis ca. 50×50 mm in etwa 1 Minute.
ModellnameFully Automatic Strain Eye LSM-9001NIR
PrüfverfahrenNIR-Rotationsanalysator-Verfahren
Hauptmerkmale- Vollautomatische Messung: Probe positionieren und Messung starten; Ergebnisse werden aus den von der eingebauten Kamera erfassten Bildern ohne subjektive Beurteilung berechnet, wodurch Bedienaufwand und Messvariabilität reduziert werden.
- Ermöglicht die Erfassung von Spannung, Eigenspannung und Rissen auf Halbleiterwafern sowie farbigen oder transparenten Produkten, die mit herkömmlichen Polariscope schwer zu beurteilen sind.
- Umfassende Software-Analyse: 2D-Verteilungs-maps mit Querschnittsdiagrammen, Histogramme für beliebige Bereiche, 3D-Darstellung, CSV-Export der Messergebnisse und Bildspeicherung für nachvollziehbare Analysen.
- Hochhelle LED als Lichtquelle für lange Lebensdauer und geringen Energieverbrauch zur Senkung von Wartungs- und Betriebskosten.
Spezifikationen- Prüfverfahren: NIR-Rotationsanalysator-Verfahren
- Messbereich (ca.): 0–150 nm (Retardation)
- Messfeldgröße (ca.): 50×50 mm
- Messzeit: ca. 1 Minute für 50×50 mm
- Platz für Probenaufstellung (Höhe): Max. 160 mm
- Abmessungen: W300 × D353 × H540 mm
- Gewicht: 22 kg
- Lichtquelle: Hochhelle LED
- Stromversorgung: AC100–240V 50/60Hz; DC-Eingang 24V 1.6A
- Komponenten: Gerät, PC, Kabel; Zubehör: Geräteschutzdeckel
- OS: Windows 10 Pro (64bit) Japanisch/Englisch