Optische Inspektionsmaschine C205

für Gravur-Waferfür die ElektronikFehler

Das plasmaoptische Breitband-Fehlerprüfsystem C205 ermöglicht die systematische Fehlererkennung und die Erkennung latenter Zuverlässigkeitsfehler in der Chipfertigung für die Märkte Automotive, IoT, 5G und Unterhaltungselektronik. Das C205 nutzt eine abstimmbare Breitband-Beleuchtungsquelle, fortschrittliche Optik und einen rauscharmen Sensor, um systematische Defekte zu erfassen und so die Charakterisierung und Optimierung neuer Prozesse, Designknoten und Geräte während der Forschung und Entwicklung zu beschleunigen. Die NanoPoint™-Technologie fokussiert die Inspektion auf Musterbereiche mit hohem Risiko für Zuverlässigkeitsfehler und liefert verwertbare Fehlerdaten, die dazu beitragen, den Die-Overkill zu reduzieren. In der Produktion überwacht der C205 kritische Schichten, die eine hohe Empfindlichkeit erfordern, und hilft den Fertigungsbetrieben, Fehlerausschläge zu vermeiden, die die endgültige Chipqualität beeinträchtigen. Der C205 ist eine erweiterbare, konfigurierbare Plattform, die sowohl 200-mm- als auch 300-mm-Wafergrößen unterstützt. Anwendungen Defekterkennung, Hotspot-Erkennung, Prozess-Debugging, technische Analyse, Linienüberwachung, Prozessfenstererkennung