29xx
Breitbandige plasmagestützte Waferdefekt-Inspektionssysteme
Die Breitband-Plasma-Defektinspektionssysteme der Serie 295x stellen eine Weiterentwicklung der optischen Defektinspektion dar und ermöglichen die Erkennung von ausbeutekritischen Defekten auf ≤7nm Logik- und Spitzenspeicher-Designknoten. Mit der verbesserten Breitband-Plasma-Beleuchtungstechnologie und den neuen Pixel-Point™- und Nano-Cell™-Design-Technologien bieten die Breitband-Plasma-Defektinspektionssysteme 2950 und 2955 die erforderliche Empfindlichkeit, um kritische Defekte in einer Vielzahl von Prozessschichten, Materialtypen und Prozessstapeln zu erfassen. Als Industriestandard für die Inline-Überwachung verbindet die Serie 295x die Empfindlichkeit mit der Geschwindigkeit der optischen Waferdefektinspektion und ermöglicht so Discovery at the Speed of Light™ - die Kombination aus schneller Defektentdeckung und vollständiger Charakterisierung von Defektproblemen bei optimalen Betriebskosten.
Anwendungen
Defekterkennung, Hotspot-Erkennung, Prozess-Debugging, technische Analyse, Linienüberwachung, Prozessfenstererkennung
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