Optisches Inspektionssystem 8 series

Rasterfür WaferLED

Hochproduktive Inspektionssysteme für gemusterte Wafer mit breitem Bereich Die Inspektionssysteme für strukturierte Wafer der Serie 8 erkennen eine Vielzahl von Fehlertypen bei sehr hohem Durchsatz und ermöglichen eine schnelle Identifizierung und Lösung von Problemen im Produktionsprozess. Die Serie 8 bietet eine kosteneffiziente Defektüberwachung für die Chipherstellung auf 150 mm, 200 mm oder 300 mm Silizium-, SiC-, GaN-, Glas- und anderen Substraten, von der ersten Produktentwicklung bis zur Serienproduktion. Die neueste Generation des Inspektors 8935 nutzt neue optische Technologien sowie DesignWise® und FlexPoint™ Techniken zur präzisen Flächeninspektion, um kritische Defekte zu erfassen, die zu Chipausfällen führen können. Die DefectWise® AI-Technologie ermöglicht eine schnelle Inline-Trennung von Defekttypen für eine verbesserte Fehlererkennung und Binning. Mit diesen Innovationen unterstützt das Modell 8935 die hochproduktive Erfassung von ertrags- und zuverlässigkeitsrelevanten Defekten bei einer geringen Störungsrate und hilft so den Chipherstellern, die Auslieferung ihrer Produkte zu beschleunigen - zuverlässig und zu geringeren Kosten. Die Inspektionssysteme der Serie 8 unterstützen die Fehlerüberwachung während der Fertigung einer breiten Palette von modernen und älteren Bauteiltypen, darunter Logik-, Speicher-, Leistungs-, LED-, Photonik-, RF-Bauteile und MEMS. Die Systeme der Serie 8 unterstützen auch die Qualitätskontrolle bei der Produktion von AR/VR-Objektiven und der Herstellung von Festplattenlaufwerken (HDD). Anwendungen Prozessüberwachung, Werkzeugüberwachung, ausgehende Qualitätskontrolle (OQC)