Gasverteilersystem JW-200-VMB

Druckluftfür Industrieanwendungen

Ventilverteilerkasten und Gas‑Schrank/Panel (VMB/VMP)

Übersicht
VMBs (Ventilverteilerkästen) und VMPs (Ventilverteiler‑Panels) sind modulare Einheiten zur kontrollierten Verteilung von hochreinen und speziellen Gasen in industriellen Anwendungen. Sie teilen eine Gasquelle auf mehrere Ausgänge (typischerweise 4–8 Abgänge) und sind für sicheren Betrieb und Wartung beim Umgang mit gefährlichen, reaktiven oder hochreinen Gasen in Halbleiterfabriken, Laboren und Spezialgas‑Verteilungssystemen ausgelegt.

Funktionen und Anwendungen

• Konfigurationen: geschlossener Schrank für gefährliche/reaktive Gase oder offenes Panel für inerte Gase.
• Steuerungsoptionen: manuelle Stationen bis vollständige PLC‑Integration.
• Sicherheitssysteme: Entlüftung/Spülung, Vakuumerzeugung, UV/IR‑Erkennung, Toxikgassensoren, Notabsperrventile, explosionsgeschützte Schränke und selbstverriegelnde Türen.
• Hochreine Ausführung: orbitalgeschweißte Verteiler, spülbare Gehäuse und werkstoffkompatible Ausführungen für Halbleitergase.
• Spezialschränke: TMA‑Schränke für pyrophore/hochreaktive Gase mit Sprinkler, Leckageerkennung und separater Abluft.
• Scrubber‑Abgasbehandlungs‑Schränke: chemische Waschung und Filtration zur Neutralisation gefährlicher Nebenprodukte und Einhaltung von Umweltauflagen.
• Typische Einsatzgebiete: Halbleiterfabriken, Bulk‑Lieferung von Spezialgasen, ALD, Forschungs‑ und Laborumgebungen.

Technische Daten
Modell: JW-200-VMB, JW-100-VMB
Spezifikation: 4S / 6S / 8S
Sonder‑Schrankgröße: W870×D340×H1680
Steuerschrank Versorgung: 220VAC, 50Hz, 500W
Heizversorgung: 220VAC, 50Hz, 1–6kW
Spülung: PN2, 1/4” MVCJ
Vakuum: GN2, 1/4” MVCJ
VENT‑Ablaufrohr: 1/2” MVCJ
Pneumatische Luftquelle: CDA driver, 1/4" SWG
Schrankbelüftung: OD 100mm, 70 m3/hr
Standardausstattung: explosionsgeschützter Schrank, explosionsgeschützte selbstverriegelnde Tür, explosionsgeschütztes Sichtfenster, Fernabschaltung
Bedienoberfläche: 7" Farb‑Touchscreen

Optional

• UV/IR‑Sensoren
• Panel‑Heizung
• Ethernet‑Kommunikationsmodul
• Hochtemperatur‑Schalter
• Rauchmelder

Unterstützte Gase (Beispiele)
SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl (Auswahl abhängig von Schrankkonfiguration und eingesetzten Materialien)

Technische Spezifikationen

• Marke: Jewellok
• Modelle: JW-200-VMB, JW-100-VMB
• Anzahl Ausgänge / Sticks: 4S / 6S / 8S
• Sonder‑Schrankgröße: W870×D340×H1680
• Versorgung Steuerschrank: 220VAC, 50Hz, 500W
• Heizversorgung: 220VAC, 50Hz, 1–6kW
• Spülsystem: PN2, 1/4” MVCJ
• Vakuumsystem: GN2, 1/4” MVCJ
• VENT‑Ablaufrohr: 1/2” MVCJ
• Pneumatische Luftquelle: CDA driver, 1/4" SWG
• Schrankbelüftung: OD 100mm, 70 m3/hr
• Standardausstattung: explosionsgeschützter Schrank, explosionsgeschützte selbstverriegelnde Tür, explosionsgeschütztes Sichtfenster, Fernabschaltung
• Bedienoberfläche: 7" Farb‑Touchscreen
• Verfügbare Optionen: UV/IR‑Erkennung, Panel‑Heizung, Ethernet‑Modul, Hochtemperatur‑Schalter, Rauchmelder
• Typische Anwendungen: Verteilung hochreiner Gase, TMA‑Schränke für reaktive/pyrophore Gase, BSGS‑Hochdurchfluss‑Systeme und Abgasbehandlung