Gas-Speicher / Hochdruck JW-300-GR

Lager- und Druckregelungsschrank für hochreine Gase JW-300-GR für die Halbleiterindustrie
In der Halbleiterfertigung sind sichere Lagerung und präzise Zuführung von hochreinen, hochdruckfähigen Spezialgasen entscheidend für Prozessstabilität und Sicherheit. Das JW-300-GR-System kombiniert Gasflaschen-Lagerschränke mit einem integrierten Druckregelungsschrank und erfüllt Reinraum- sowie Industriestandards.

Gasflaschen-Lagerschränke
Für Spezialgase wie Stickstoff, Argon und Wasserstoff ausgelegt, bieten die Lagerschränke sicheren Schutz vor äußeren Gefahren und schränken unbefugten Zugang ein. Aus korrosionsbeständigen Materialien gefertigt, verfügen sie über Zwangsbelüftung zur Vermeidung von Gassammlung, feuerresistente Bauteile und Verriegelungssysteme. Interne Organisation und klare Kennzeichnung ermöglichen schnelle Identifikation und Flaschenwechsel in Produktionsumgebungen.

Druckregelungsschränke
Der Druckregelungsschrank enthält Regler, Absperrventile und Messinstrumente zur präzisen Bereitstellung von Gasen an die Prozessanlagen. Integrierte Sensoren und Alarmfunktionen erkennen Lecks oder Druckabweichungen und lösen Sicherheitsmaßnahmen aus. Komponenten und Dichtungen sind reinraumkompatibel gewählt, um Kontaminationen der hochreinen Gasleitungen zu vermeiden. Optionen für Automatisierung und Fernüberwachung reduzieren Stillstandszeiten und verbessern die Rückverfolgbarkeit.

Übersicht
Gemeinsam gewährleisten Lager- und Druckregelungsschränke sichere Behältnisse und genaue Versorgung mit Spezialgasen und unterstützen die Anforderungen an Präzision und Regelkonformität in der Halbleiterfertigung.

Technische Daten
Model: JW-300-GR
Specification: Single bottle/double bottle
Special gas cabinet size: Double bottle: W800*D520*H1957; Single bottle: W500*D520*H1957
Control cabinet power supply: Control power supply: 220VAC, 50HZ, 500W; Heating power supply: 220VAC, 50HZ, 1-6KW
Purge: PN2,1/4” MVCJ
High pressure holding: HPN2,1/4” MVCJ
Vacuum: GN2.1/4” MVCJ
VENT drain pipe: 1/2” MVCJ
Pneumatic air source: CDA driver, 1/4″ SWG
Operation interface: 7″ color touch screen/buttons

Optional

• Wägesystem
• Panelheizung
• Excess-Flow-Schalter
• Ethernet-Kommunikationsmodul
• CGA Guarder

Technische Merkmale / Spezifikationen

• Model: JW-300-GR
• Specification: Single bottle/double bottle
• Special gas cabinet size: Double bottle: W800*D520*H1957; Single bottle: W500*D520*H1957
• Control cabinet power supply: 220VAC, 50HZ, 500W; Heating power supply: 220VAC, 50HZ, 1-6KW
• Purge: PN2, 1/4” MVCJ
• High pressure holding: HPN2, 1/4” MVCJ
• Vacuum: GN2, 1/4” MVCJ
• VENT drain pipe: 1/2” MVCJ
• Pneumatic air source: CDA driver, 1/4″ SWG
• Operation interface: 7″ color touch screen / buttons
• Optional features: Wägesystem; Panelheizung; Excess-Flow-Schalter; Ethernet-Kommunikationsmodul; CGA Guarder