Lösemittel-Verteilersystem JW series

Wasserfür Tanksfür chemische Massengüter

Übersicht
In der Halbleiterfertigung sorgen UHP (Ultra-High Purity) Versorgungssysteme für flüssige Chemikalien für einen kontrollierten, kontaminationsarmen Transport von Säuren, Laugen und Lösungsmitteln zwischen Bulk-Lager und Einsatzstellen. Die Systeme reduzieren manuelle Eingriffe und erhalten die Prozessintegrität für hohe Ausbeuten.

Bulk Chemical Delivery Handling System
Die Bulk-Infrastruktur transportiert große Volumina aus externen Tanks oder Fasslagern. Übliche Materialien sind elektropoliertes SS316L oder hochwertige PFA-Leitungen. Übertragungsmethoden umfassen automatisierte Druckübertragung oder magnetgekoppelte Pumpen für gleichmäßigen, pulsfreien Durchfluss und reduzierte Partikelbildung und Kristallisation.

UHP Flüssigchemikalien-Versorgungssystem (Endabschnitt)
Das Endabschnittssystem liefert Chemikalien punktgenau und beinhaltet fortschrittliche Filtration, berührungslose Füllstandssensorik und Echtzeit-Verbrauchsüberwachung. Sicherheits- und Reinheitsmaßnahmen umfassen sekundäre Auffangvorrichtungen, automatische Leckdetektion und Stickstoffabdeckung, um Oxidation zu verhindern und Bediener zu schützen, während eine hochreine Versorgung der Produktion gewährleistet wird.

Technische Daten
Modell: JW-200L-CDM, JW-1000L-CDM
Maße Spezial-Gasschrank: W2200*D1500*H2000 (Doppel-Fässer) / W2990*D2100*H2000 (Doppel-Fässer)
Schaltschrank-Netzversorgung: 220VAC, 50Hz, 0.5–3KW, Leckageschutz
Spülung: PN2, SS316 1/2" SWG
Ultrareines Wasser: UPW, JIS 16A Anschluss
Druckluft: CDA, SS316 1/2" SWG
Abwasseranschluss: Ablauf, PP DN20 Fusion Socket / Ablauf, PP DN25 Fusion Socket

Standard / Optionale Teile

• Notbedienfeld (optional)
• Hocheffizienter Filter
• Türsensor (optional)

Anwendung

• Halbleiter
• Photovoltaik
• Solarenergie
• Flüssigkristallanzeigen
• Optische Fasern
• Weitere Hightech-Produktionsbereiche

Behandelte Spezialchemikalien

• HF - Flusssäure
• HCL - Salzsäure
• H2O2 - Wasserstoffperoxid
• KOH - Kaliumhydroxid
• HNO3 - Salpetersäure
• NH4OH - Ammoniumhydroxid
• H2SO4 - Schwefelsäure

Funktion

• Filtration flüssiger Chemikalien
• Probenahme flüssiger Chemikalien
• Zirkulation flüssiger Chemikalien
• Förderung/Zuordnung flüssiger Chemikalien

Eigenschaften / Technische Spezifikationen

• Modell: JW-200L-CDM; JW-1000L-CDM
• Maße Spezial-Gasschrank: W2200 × D1500 × H2000 (Doppel-Fässer) oder W2990 × D2100 × H2000 (Doppel-Fässer)
• Schaltschrank-Netzversorgung: 220VAC, 50Hz, 0.5–3KW mit Leckageschutz
• Spülung: PN2 mit SS316 1/2" SWG
• Anschluss für ultrareines Wasser: UPW, JIS 16A
• Druckluft: CDA mit SS316 1/2" SWG
• Abwasseroptionen: PP DN20 Fusion Socket oder PP DN25 Fusion Socket
• Standardausstattung: PP-Gehäuse + transparente PVC-Sichtscheibe, PFA-internes Rohrventil, Stickstoffspülung, Probenahme, vollautomatische Säurezufuhr, automatische Fassumschaltung, redundante Pumpenkonfiguration (zwei im Betrieb + eine als Reserve), Touchscreen-Statusanzeige, automatische Abschaltung, Warnungen und Selbsttests, mehrsprachige Unterstützung, mehrere Signaleingänge, Code-Scanner, hocheffizienter Filter, optionaler Türsensor
• Anwendungen: Halbleiter, Photovoltaik, Solarenergie, LCD-Panel, Lichtwellenleiter und weitere Hightech-Produktionsfelder
• Behandelte Chemikalien: HF, HCL, H2O2, KOH, HNO3, NH4OH, H2SO4
• Hauptfunktionen: Filtration, Probenahme, Zirkulation, Versorgung flüssiger Chemikalien