Dosierstation JW-300-LDS CDS

Übersicht
Das Chemical Delivery Module (CDM) JW-300-LDS CDS basiert auf Ultra-High Purity (UHP) Membranventilen, die für den Umgang mit aggressiven Ätzmitteln und abrasiven Suspensionen in der Halbleiterfertigung ausgelegt sind. Richtige Ventilwahl, Überwachung und Wartung sind entscheidend, um Kontamination, Partikelablösung und ungeplante Stillstände zu verhindern.

Wartungs‑ und Konstruktionsempfehlungen
Wählen Sie UHP‑Membranventile mit Metall‑auf‑Metall‑Dichtung, die das Prozessmedium vom Stellglied isolieren und Totvolumen eliminieren. Implementieren Sie predictive Monitoring über die PLC des CDM: Zählen Sie Ventilzyklen und überwachen Sie Druckdifferenzen am Verteiler, um Membranverschleiß vor einem Leck zu erkennen. Legen Sie Spülprotokolle mit deionisiertem Wasser fest, um chemische Kristallisation an den Sitzen zu vermeiden, und planen Sie den Austausch verschleißintensiver Komponenten während geplanter Stillstandsfenster, um Teile‑pro‑Billionen (ppt) Reinheit zu erhalten und die Lebensdauer zu verlängern.

Technische Daten
Model : JW-300-LDS CDS
Special gas cabinet size : W1900*D800*H2100
Control cabinet power supply : Control power supply: 220VAC, 50HZ, 500W, heating power supply: 220VAC, 50HZ, 1-6KW
Purge : PN2,1/4”MVCJ
High pressure holding : GN2.1/4” MVCJ
Vacuum : 1/2” MVCJ
VENT drain pipe : CDA driver, 1/4" SWG
Pneumatic air source : OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr
Cabinet ventilation : OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr
Standard equipment : Automatic switching, automatic purging, explosion-proof and anti-leaving cabinet, explosion-proof self-locking door, explosion-proof glass observation window, leakage alarm, remote cut-off, negative pressure alarm
Operation interface : 10" color touch screen

Optional

• UV/IR Flammendetektor
• Zylinderheizung
• Panelheizung
• Ethernet‑Kommunikationsmodul
• Wäger
• Überstromschalter
• Rauchmelderschalter

Anwendung

• Halbleiter
• Photovoltaik
• Solarenergie
• Flüssigkristall‑Panel
• Glasfaserkabel
• Weitere Produktionsfelder

Behandelte Spezialchemikalien

• HF - Flusssäure
• HCL - Salzsäure
• H2O2 - Wasserstoffperoxid
• KOH - Kaliumhydroxid
• HNO3 - Salpetersäure
• NH4OH - Ammoniumhydroxid
• H2SO4 - Schwefelsäure

Funktion

• Filtration flüssiger Chemikalien
• Probenahme flüssiger Chemikalien
• Zirkulation flüssiger Chemikalien
• Förderung/Zuordnung flüssiger Chemikalien

Hinweise zu Aufbau und Leistung
Die benetzten Strömungswege bestehen aus 316L elektro‑poliertem Edelstahl mit 5Ra Oberflächenfinish, um Partikelauswurf zu minimieren und chemische Beständigkeit sicherzustellen. Proprietäre UHP‑Membranventile verfügen über Metall‑auf‑Metall‑Dichtungen und PLC‑gesteuerte Automatisierung für Rezeptverwaltung und Predictive Maintenance. Mehrstufige Sicherheitsprotokolle umfassen sekundäre Auffangvorrichtungen, Stickstoff‑Blanketing und automatische Leckdetektion zum Schutz von Personal und Ertrag.

Technische Spezifikationen

• Model: JW-300-LDS CDS
• Schrankgröße: W1900 × D800 × H2100
• Steuerspannung: 220VAC, 50Hz, 500W; Heizleistung: 220VAC, 50Hz, 1–6KW
• Spülgas: PN2, 1/4" MVCJ
• Hochdruckhalteanschluss: GN2, 1/4" MVCJ
• Vakuumanschluss: 1/2" MVCJ
• VENT Ableitung: CDA driver, 1/4" SWG
• Kapazität pneumatische Luftquelle: OD 150mm; Silan 810 m³/hr; andere 204 m³/hr
• Kapazität Schrankbelüftung: OD 150mm; Silan 810 m³/hr; andere 204 m³/hr
• Betriebsoberfläche: 10" Farb‑Touchscreen
• Standard Sicherheits-/Ausstattungsmerkmale: automatische Umschaltung, automatische Spülung, explosionsgeschützter Schrank und Tür, explosionsgeschütztes Schloss, explosionsgeschützte Beobachtungsfenster, Leckalarm, Fernabschaltung, Unterdruckalarm
• Materialien & Oberflächen: 316L elektro‑polierter Edelstahl, 5Ra Oberflächenfinish
• Hauptfunktionen: Filtration, Probenahme, Zirkulation, Förderung von flüssigen Spezialchemikalien