Elektronenmikroskop NP6800

für AnalyseMesshochauflösend

Das Hitachi NP6800 ist ein SEM-basiertes Sondensystem, das speziell für die analytischen Anforderungen von Halbleiterbauelementen mit 10-nm-Designknoten und darüber hinaus entwickelt wurde. Der piezoelektrische Präzisionsantrieb ist mit X-, Y- und Z-Achsen ausgestattet, die eine sehr präzise Steuerung der Sonden zur Messung der elektrischen Eigenschaften eines einzelnen MOS-Transistors ermöglichen. Das Designkonzept bestand darin, ein einfach zu bedienendes Tastsystem (wie ein optisches Tastsystem) zu schaffen, wobei die gleiche einfache Bedienung auch in der Vakuumumgebung durch unser intuitives Design der Tastkopfbedienung beibehalten wird. - Dieses REM-basierte Prüfsystem wird zur Analyse von Defekten und Fehlern eingesetzt, die während des Herstellungsprozesses von Halbleiterbauteilen im Nanobereich entstehen können. - Der NP6800 Nano-Prober verfügt über eine optimierte Kaltfeld-Emissions-Elektronenquelle, ein System mit acht Prüfköpfen, einen temperaturgesteuerten Prüfstand von -40 bis 150 Grad Celsius, ein AC-Messsystem (optional) zur Erkennung von Gate-Widerständen, ein EBAC-System zur Lokalisierung von Kurzschlüssen und offenen Fehlern sowie Prüfkopf- und Probenaustauscheinheiten für höchsten Durchsatz. - Der Nano-Prober NP6800 wurde als dediziertes Nano-Probing-System entwickelt, das nicht nur einen hohen Durchsatz, sondern auch hochstabile Messungen von Halbleiterbauelementen im Nanobereich ermöglicht. Das System ist in der Lage, die elektrischen Eigenschaften, EBAC, EBIC, Puls IV und die Temperaturanforderungen von nanoskaligen Bauteilen zu bewerten.