Diffusionsofen LPSchrankmodell
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Eigenschaften
- Funktion
- Diffusion
- Konfigurierung
- Schrankmodell
Beschreibung
Diese Maschine ist für das Dotieren von Phosphor und Bor zur Bildung von "p-n-Übergängen" ausgelegt, einer entscheidenden Komponente von kristallinen Silizium-Solarzellen.
Spezifikation
POCl₃
Hoher Durchsatz: 7.854 Wafer/Stunde (2.400 Wafer/Boot)
Zykluszeit: 110 min
Betriebszeit: 99%
BBr₃
Hoher Durchsatz: 3.600 Wafer/Std. (2.400 Wafer/Boot)
Zykluszeit: 240 min
Betriebszeit: 99%
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Kataloge
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.