Schrankmodell-Ofen LPOxidation
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Eigenschaften
- Konfigurierung
- Schrankmodell
- Funktion
- Oxidation
Beschreibung
Diese Maschine wurde entwickelt, um die Zelleffizienz durch Aufbringen einer Passivierungsschicht auf der Vorderseite des Siliziumwafers nach der Kantenisolierung und der PSG-Entfernung zu verbessern.
Spezifikation
Hoher Durchsatz: 14.400 Wafer/Stunde (2.400 Wafer/Boot)
Zykluszeit: 60 Minuten
Betriebszeit: 99%
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Kataloge
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Solar
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