Vakuum-Positioniersysteme

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Mehrachsen-Positioniersystem
Mehrachsen-Positioniersystem
FTL40-H1

... Erfindungspatente, Gebrauchsmuster, Patente für das Erscheinungsbild und 76 Software-Urheberrechte. Das mehrachsige Positioniersystem kann aus mehreren linearen Modulen bestehen, um den Hub, die Präzision, die Geschwindigkeit ...

Mehrachsen-Positioniersystem
Mehrachsen-Positioniersystem
FTS40XYZ-L

Wiederholbarkeit: 0,03 mm
Ladung: 25 kg
Hub: 50 mm - 1.000 mm

... Erfindungspatente, Gebrauchsmuster, Patente für das Erscheinungsbild und 76 Software-Urheberrechte. Das mehrachsige Positioniersystem kann aus mehreren linearen Modulen bestehen, um den Hub, die Präzision, die Geschwindigkeit ...

dreifüßiges Positioniersystem
dreifüßiges Positioniersystem
TRIPOD 52-6DoF

Wiederholbarkeit: 50 nm
Hub: 6, 31 mm

Das TRIPOD 52-6DoF-Bewegungssystem hat sechs Freiheitsgrade und verwendet hochpräzise SMARSLIDE-Piezotische. Die zentrale Komponente des TRIPOD 52-6Dof ist das parallelkinematische TRIPOD 52-Core. Das Design aus drei radial angeordneten ...

dreifüßiges Positioniersystem
dreifüßiges Positioniersystem
TRIPOD 92-6DoF

Wiederholbarkeit: 50 nm
Hub: 6, 31 mm

Das größere der beiden TRIPODs 92-6DoF-Bewegungssysteme hat sechs Freiheitsgrade und verwendet hochpräzise SMARSLIDE-Piezotische, die auch mit dem modularen CLS-92 Baukasten voll kompatibel sind. Die zentrale Komponente des TRIPOD ...

6-Achs-Positioniersystem
6-Achs-Positioniersystem
SOLANO

Wiederholbarkeit: 0,25 µm
Ladung: 0 kg - 5 kg
Hub: 21 mm

Ultrakompakter Präzisionshexapode - SOLANO Der SOLANO ist ein positionssymmetrischer Hexapod, der speziell für Präzisionsanwendungen in Umgebungen mit hohem Platzbedarf entwickelt wurde. Mit einer Auflösung von bis zu 0,08 µm und einer ...

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SYMETRIE
6-Achs-Positioniersystem
6-Achs-Positioniersystem
MAUKA

Wiederholbarkeit: 0,5 µm
Ladung: 0 g - 5.000 g
Hub: 10 mm

MAUKA ist ein kompakter Hexapod, der zur Positionierung von Lasten bis zu 5 kg mit Submikron-Auflösung entwickelt wurde. Dieser Hexapod bietet Verschiebungen von 10 mm in X- und Y-Richtung, 20 mm in Z-Richtung und 16° Rotation. Er ...

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SYMETRIE
6-Achs-Positioniersystem
6-Achs-Positioniersystem
BORA

Wiederholbarkeit: 0,4 µm
Ladung: 0 kg - 10 kg
Hub: 20 mm - 20 mm

KLEINER HEXAPOD FÜR HOCHPRÄZISE POSITIONIERUNG Bora ist ein kompakter Hexapod, der für die hochpräzise Positionierung und Einstellung von Elementen mit einer Auflösung von 0,1 µm entwickelt wurde. Der Bora-Hexapod erfüllt die Anforderungen ...

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SYMETRIE
Positioniersystem / Gestapeltes System
Positioniersystem / Gestapeltes System
CHARON2

Wiederholbarkeit: 0,3 µm
Ladung: 30 kg
Hub: 650, 205 mm

... CHARON2 ist unsere beliebteste Motion-System-Plattform. Durch seine robuste und zuverlässige Stacked-Architektur, die mit Blick auf Modularität und Skalierbarkeit entwickelt wurde, ist er als kostengünstiger Einstiegspunkt für viele schlüsselfertige ...

Portal-Positioniersystem
Portal-Positioniersystem
BSMAE-F120L-1000X1000X100

... Flache motorisierte Stellglieder mit Präzisions-Kugelgewindetrieb bieten außergewöhnliche Genauigkeit, Wiederholgenauigkeit und ultrafeine Positionsauflösungsfähigkeit bis zu 1 Mikron in einer sehr kompakten, flachen Einheit. Sie sind ...

XYZ-Positioniersystem
XYZ-Positioniersystem
BSMAE-F80L-300X300X300

XYZ-Positioniersystem
XYZ-Positioniersystem

... Wafer-Inspektion und Metrologie Flachbildschirmindustrie (FPD): Druck von einzelnen Pixeln mit Inkjet Technologie Wo unsere Positioniersysteme überall im Einsatz sind: Unsere Ingenieure verfügen über ein breites ...

Ultrahochvakuum-Positioniersystem
Ultrahochvakuum-Positioniersystem
LA80-2LA95

... tOMography Nano crYo (OMNY)” mit dem Paul Scherrer Institut (PSI). Präzise, schnell und langlebig im Ultrahochvakuum • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10E-11 mbar • Schmierung flüssig bis 10E-8 / ...

XY-Positioniersystem
XY-Positioniersystem

... 8 Stationen Halbleiter-Wafer-Indexer Dieses System wurde speziell für die Ionenstrahlbearbeitung von Halbleiterscheiben 2″ oder 3″ bei erhöhten Temperaturen entwickelt. Das Indexierungssystem ermöglicht eine präzise Steuerung der Waferposition ...

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