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... Wafer-Inspektion und Metrologie Flachbildschirmindustrie (FPD): Druck von einzelnen Pixeln mit Inkjet Technologie Wo unsere Positioniersysteme überall im Einsatz sind: Unsere Ingenieure verfügen über ein breites Fachwissen aus verschiedenen ...
... Erfindungspatente, Gebrauchsmuster, Patente für das Erscheinungsbild und 76 Software-Urheberrechte. Das mehrachsige Positioniersystem kann aus mehreren linearen Modulen bestehen, um den Hub, die Präzision, die Geschwindigkeit und die ...
Wiederholbarkeit: 0,03 mm
Ladung: 25 kg
Hub: 50 mm - 1.000 mm
... Erfindungspatente, Gebrauchsmuster, Patente für das Erscheinungsbild und 76 Software-Urheberrechte. Das mehrachsige Positioniersystem kann aus mehreren linearen Modulen bestehen, um den Hub, die Präzision, die Geschwindigkeit und die ...
Wiederholbarkeit: 50 nm
Hub: 31, 6 mm
... Das TRIPOD 52-6DoF-Bewegungssystem hat sechs Freiheitsgrade und verwendet hochpräzise SMARSLIDE-Piezotische. Die zentrale Komponente des TRIPOD 52-6Dof ist das parallelkinematische TRIPOD 52-Core. Das Design aus drei radial angeordneten Türmen ermöglicht ...
Wiederholbarkeit: 50 nm
Hub: 31, 6 mm
... Das größere der beiden TRIPODs 92-6DoF-Bewegungssysteme hat sechs Freiheitsgrade und verwendet hochpräzise SMARSLIDE-Piezotische, die auch mit dem modularen CLS-92 Baukasten voll kompatibel sind. Die zentrale Komponente des TRIPOD 92-6DoF ist das parallelkinematische ...
... Flache motorisierte Stellglieder mit Präzisions-Kugelgewindetrieb bieten außergewöhnliche Genauigkeit, Wiederholgenauigkeit und ultrafeine Positionsauflösungsfähigkeit bis zu 1 Mikron in einer sehr kompakten, flachen Einheit. Sie sind ideal für platzkritische ...
Wiederholbarkeit: 0,3 µm
Ladung: 30 kg
Hub: 650, 205 mm
... CHARON2 ist unsere beliebteste Motion-System-Plattform. Durch seine robuste und zuverlässige Stacked-Architektur, die mit Blick auf Modularität und Skalierbarkeit entwickelt wurde, ist er als kostengünstiger Einstiegspunkt für viele schlüsselfertige Bewegungslösungen ...
Wiederholbarkeit: 0,5 µm
Ladung: 0 g - 5.000 g
Hub: 10 mm
... MAUKA ist ein kompakter Hexapod, der zur Positionierung von Lasten bis zu 5 kg mit Submikron-Auflösung entwickelt wurde. Dieser Hexapod bietet Verschiebungen von 10 mm in X- und Y-Richtung, 20 mm in Z-Richtung und 16° Rotation. Er passt in einen Durchmesser ...
SYMETRIE
... tOMography Nano crYo (OMNY)” mit dem Paul Scherrer Institut (PSI). Präzise, schnell und langlebig im Ultrahochvakuum • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10E-11 mbar • Schmierung flüssig bis 10E-8 / trocken bis 10E-11 ...
... 8 Stationen Halbleiter-Wafer-Indexer Dieses System wurde speziell für die Ionenstrahlbearbeitung von Halbleiterscheiben 2″ oder 3″ bei erhöhten Temperaturen entwickelt. Das Indexierungssystem ermöglicht eine präzise Steuerung der Waferposition und ermöglicht ...
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