Positioniersysteme für Reinräume

Wiederholbarkeit: 0,02 mm - 0,1 mm
Ladung: 3 kg - 120 kg
Geschwindigkeit: 100 mm/s - 4.000 mm/s

... Erfindungspatente, Gebrauchsmuster, Patente für das Erscheinungsbild und 76 Software-Urheberrechte. Das mehrachsige Positioniersystem kann aus mehreren linearen Modulen bestehen, um den Hub, die Präzision, die Geschwindigkeit ...

... darunter 6 Erfindungspatente, Gebrauchsmuster, Erscheinungsbildpatente und 76 Software-Urheberrechte. Das mehrachsige Positioniersystem kann aus mehreren linearen Modulen bestehen, um den Hub, die Präzision, die Geschwindigkeit ...

... Erfindungspatente, Gebrauchsmuster, Patente für das Erscheinungsbild und 76 Software-Urheberrechte. Das mehrachsige Positioniersystem kann aus mehreren linearen Modulen bestehen, um den Hub, die Präzision, die Geschwindigkeit ...

Wiederholbarkeit: 0,03 mm
Ladung: 25 kg
Hub: 50 mm - 1.000 mm

... Erfindungspatente, Gebrauchsmuster, Patente für das Erscheinungsbild und 76 Software-Urheberrechte. Das mehrachsige Positioniersystem kann aus mehreren linearen Modulen bestehen, um den Hub, die Präzision, die Geschwindigkeit ...

Wiederholbarkeit: 1 µm
Ladung: 15 kg
Hub: 200 mm - 1.000 mm

... FMC-Serie, ACS, SPS-Integration Kundenspezifische Optionen: - Prozessanpassung, Probenhalter, Kopf / Sensor - Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) - Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung, ...

Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 2,5 µm
Ladung: 5 kg - 20 kg
Hub: 100 mm - 720 mm

... - Motion Controller: FMC-250/280, ACS, SPS-Integration - Reinraum Klasse: ISO 2 Kundenspezifische Optionen: - Prozessanpassung, Probenhalter, Kopf / Sensor - Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 ...

Wiederholbarkeit: 1,9 µm - 4,4 µm
Ladung: 50 kg
Hub: 100 mm - 1.000 mm

... Lebensdauer mit 1.000.000 Vollzyklen und einem Wartungsintervall von 500.000 Vollzyklen bzw. aller 2 Jahre Dieses Positioniersystem bewegt einen Vakuumchuck auf einer Fläche von 1000 x 1000 mm. An der Traversenachse ...

Wiederholbarkeit: 0,4 µm - 0,8 µm
Hub: 100 mm - 300 mm
Geschwindigkeit: 80 mm/s - 630 mm/s

XY-2Z 3D-Druck Portal (Reinraum) Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal zum 3D Druck für hochpräzise, universelle additive Fertigungsverfahren • Hoher Durchsatz durch Verfahrwege von 300 x 200 x 100 mm, erweiterbar ...

Wiederholbarkeit: 10 µm
Ladung: 830 g
Hub: 14 mm

Z-Phi Dreh-Hub-Aktuator mit integrierter Steuerung (Reinraum ISO 8) Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal für die automatisierte Reinraumproduktion z.B. justieren, eindrehen, stapeln, abfüllen und verschließen • ...

Wiederholbarkeit: 0,001 µm - 3,5 µm
Ladung: 6,5 kg
Hub: 4 mm - 20 mm

6-Achs Miniatur-XYZ-Theta-Phi-Delta Positioniersystem (Reinraum ISO 5) Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal zur automatisierten Inspektion von Wafern und Optiken bis 300 mm / 12" • Hohe Wiederholgenauigkeit ...

... - Eingebaute Vakuumversorgung bis zur Ebene der Wafer-Aufnahmevorrichtung - Eingebauter Gewichtskraft-Ausgleich - ISO1 Reinraum kompatibel dank Vakuumabsaugung - Grobe Z Achse mit 12 mm Hub für Wafer Laden/Entladen ...

Wiederholbarkeit: 0,3, 0,5 mm
Hub: 100, 820 mm
Geschwindigkeit: 150, 750 mm/s

... flexibles Wartungskonzept durch den schnellen Systemaustausch auf der Granitstruktur Optional erweiterbar: • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) • Anschlüsse für Absaugung und umlaufende ...

Wiederholbarkeit: 1,5, 2,5 µm

Doppel XY Linearachse zur hochpräzisen Justage von Linsen für Wafer Stepper | ultrafeine UV-Belichtung im Reinraum - Serienbaugruppen Hochpräzise Verstellung zweier Optiken Diese hochpräzise Doppel-Linearachse wurde ...

Wiederholbarkeit: 0,6, 1 µm
Hub: 10 mm
Geschwindigkeit: 25 mm/s

... hochdynamische Anwendungen (Reinraum) | Hochpräzise und viskositätsunabhängiger Druck verschiedener Materialien - Additive Fertigung / 3D Druck Schnelle kurze Bewegungen mit hoher Präzision in der Vertikalen Dieses ...

Wiederholbarkeit: 3, 5 µm
Hub: 200 mm
Geschwindigkeit: 30 mm/s

Hochstabile berührungslose optische Vermessung Diese XY-Kombination verfügt über eine separate Z-Vertikaleinheit, an dem ein kundenspezifisches Mikroskop, Kamera oder Sensor montiert werden kann. Der Kreuztisch KT310 mit Schrittmotor ...

X Phi Positioniersystem für die Inspektion von Wafern, biologische Proben (Reinraum ISO 5) | Drehachse und Lineartisch - Inspektion und Mikroskopie Hochpräzise linear-rotatorische Positionierung Dieses ...

Universelles 4-achs-Granitportal mit Reinraumgehäuse Dieses XYZ Phi Positioniersystem lässt sich für verschiedene Test- und Prüfprozesse in der Halbleiter- und Elektronikfertigung bis Reinraum Klasse ...

Geschwindigkeit: 130, 330 mm/s

XY-Z Positioniersystem für das Hochdurchsatz-Screening von Mikrotiterplatten (Reinraum) | hochpräzise für Pharmatesting, Life-Science-Tests, etc. - Labor / Analytik Großes Durchlicht-Positioniersystem ...

Wiederholbarkeit: 1 µm

... Inspektionssystem (hier ohne Abdeckung gezeigt) ist speziell für die automatisierte Qualitätskontrolle entwickelt. Das Positioniersystem erlaubt die Positionierung entlang zweier linearer Achsen. Eine hochauflösende Kamera ...

Wiederholbarkeit: 1 µm

Der Gantryaufbau ermöglicht hochdynamische Bewegungen über eine Fläche von 1.000 x 800 mm (angepasst an die Aufgabe und den verfügbaren Stellplatz) bei einer Wiederholgenauigkeit von 0,3 µm und ist damit ein Garant für hohen Durchsatz ...

... in Z und Y • Kugelgewindetrieb in Z und Y für höhere Geschwindigkeiten und Lebensdauer bei Schmierung • Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 Klasse 4 (bis Klasse 1 auf Anfrage) Referenzen OMNY—A tOMography Nano ...