Dreifüßiges Positioniersystem TRIPOD 52-6DoF
XYVakuum

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Eigenschaften

Achszahl
XY
Aufbau
dreifüßig
Verwendung
Vakuum
Wiederholbarkeit

50 nm

Hub

6 mm, 31 mm
(0,24 in, 1,22 in)

Beschreibung

Der TRIPOD 52-6DoF ist mit dem CLS-52-Modulsystem kompatibel und besteht wie sein größeres Pendant, der TRIPOD 92-6DoF, aus einer kippbaren Plattform. Die Anordnung der drei Türme ermöglicht eine Roll- und Nickbewegung der Deckplatte im Bereich von ±8,5° für Θx, ±9,5° für Θy und eine lineare Translation in Z-Richtung von 5 mm. Die obere Platte verfügt über einen Montageschlitz für einen SR-3211-Positionierer, der den Aufbau um einen vierten Freiheitsgrad erweitert. Die untere Platte hingegen ermöglicht die direkte Montage auf einem Breadboard oder einer XY-Plattform, die aus zwei linearen Positionierern CLS-52 besteht. Die letztere Möglichkeit ergibt ein 5D- oder zusammen mit dem SR-3211 ein 6D-Positioniersystem. Die Werte für den Rotationsweg sind für einen Drehpunkt auf der Oberfläche der oberen Platte angegeben.

Kataloge

Catalog 22
Catalog 22
182 Seiten

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.