Dreifüßiges Positioniersystem TRIPOD 92-6DoF
XYVakuum

dreifüßiges Positioniersystem
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Eigenschaften

Achszahl
XY
Aufbau
dreifüßig
Verwendung
Vakuum
Wiederholbarkeit

50 nm

Hub

6 mm, 31 mm
(0,24 in, 1,22 in)

Beschreibung

Der größere der beiden TRIPODs ist mit dem CLS-92 Modularsystem kompatibel. Kernstück dieses Positioniersystems ist ein Neigungstisch. Die Anordnung der drei Türme ermöglicht eine Roll- und Nickbewegung der Deckplatte im Bereich von ±13° für Θx, ±15° für Θy und eine lineare Translation in Z-Richtung von 10 mm. Die obere Platte enthält auch einen Schlitz für die Montage eines SR-4011 Positionierers, der den Aufbau um einen vierten Freiheitsgrad erweitert. Die untere Platte hingegen ermöglicht die direkte Montage auf einem Breadboard oder einer XY-Plattform, die aus zwei linearen CLS-92 Positionierern besteht. Die letztere Möglichkeit führt zu einem 5D- oder zusammen mit dem SR-4011 zu einem 6D-Positioniersystem. Die Werte für den Rotationsweg sind für einen Drehpunkt auf der Oberfläche der Deckplatte angegeben.

Kataloge

Catalog 22
Catalog 22
182 Seiten

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.