Keramiksubstrat

Aluminiumoxid

Produktbeschreibung
Zirkonverstärkte Aluminiumoxidkeramik-Substrate (ZTA) verbinden die mechanische Festigkeit von Zirkonoxid mit der Stabilität von Aluminiumoxid und liefern dichte, weiße Substrate mit exzellenter Oberflächenqualität, hoher Reflexion und ausgezeichneter Temperaturstoßbeständigkeit. Entwickelt für zuverlässigen Betrieb in elektronischen und optischen Baugruppen mittlerer Leistung, eignen sich diese Substrate für Leistungsbausteine, LED-Systeme und Präzisionsmessgeräte, bei denen Bearbeitungsgenauigkeit und thermische Zuverlässigkeit gefordert sind.

Hauptmerkmale

• Hohe Biegefestigkeit (≥550 MPa)
• Hohe Reflexion (≥95%)
• Hohe Beständigkeit gegen thermische Schocks (≥10 bei 800°C)
• Gute Bearbeitbarkeit und Polierfähigkeit

Typische Anwendungen

• Leistungsbausteine mittlerer Leistung
• LED-Module mittlerer Leistung
• Mess- und Präzisionsgeräte

Materialeigenschaften
Projekt: ZTA
Materialsystem: Al2O3 / ZrO2
Erscheinungsbild: dicht weiß
Oberflächenrauheit (Ra): 0,2–0,5 μm
Dichte: ≥3,85 g/cm3
Biegefestigkeit (3-Punkt): ≥550 MPa
Vickers-Härte (4,9 N): ≥14 GPa
Wasseraufnahme: 0%
Wärmeleitfähigkeit (25°C): ≥23 W/(m·K)
Wärmeausdehnungskoeffizient (25–500°C): 6,6–7,5 ×10^-6 /°C
Wärmeschockbeständigkeit (800°C, angegebene Zeit): ≥10
Spezifische Wärmekapazität: 720 J/(kg·K)
Permittivität (1 MHz/25°C): 10–11
Dielektrischer Verlust (1 MHz/25°C): ≤3×10^-4
Volumenwiderstand (25°C): >10^14 Ω·cm
Durchschlagfestigkeit: >15 kV/mm
Reflexionsgrad: ≥95%

Spezifikationen & Abmessungen
Material (ZTA): Verfügbare effektive Größen (A, B): 50,8–190 mm
Dicke (T): 0,25–1,5 mm
Dickentoleranz: ±5% (min ±0,03 mm)
Verzug (C): ≤0,3%
Oberflächenfinish: Ra 0,2–0,5 μm
Größen, Dicken und Oberflächenfinish sind auf Anfrage anpassbar

Bearbeitung

• Laserschneiden
• Schleifen und Polieren

Toleranzen & Oberflächenrauheit (Auszug)
Innenmaßtoleranz: Standard ±0,05 mm (Premium ±0,03 mm)
Außenmaßtoleranz: Standard ±0,15 mm (Premium ±0,1 mm)
Lochtoleranz (φ0,07–0,15 mm): Standard ±0,05 mm (Premium ±0,03 mm)
Lochtoleranz (φ > 0,15 mm): Standard ±0,1 mm (Premium ±0,02 mm)
Geschliffene Oberflächenrauheit: Standard 0,3–0,6 μm (Premium 0,3–0,5 μm)
Mikro-geschliffene Rauheit: Standard 0,1–0,4 μm (Premium 0,1–0,3 μm)
Polierte Rauheit: Standard ≤0,1 μm (Premium ≤0,05 μm)

Hinweis
Die Spezifikationen variieren je nach Material (Al2O3, ZTA, AlN, Si3N4 usw.). Größen, Dicken und Oberflächenrauheiten sind projektspezifisch anpassbar.