Automatische Messanlage DX1PS3

VakuumMagnet

Übersicht

Die DX1PS3 Waferebene Automatic In‑Plane Magnetfeld‑Sondenstation ist für elektrische und magnetische Charakterisierung von Halbleitermaterialien, Mikro‑Nano‑Bauteilen und Spintronik‑Geräten konzipiert. Sie bietet ein eindimensionales In‑Plane Magnetfeld bis 330 mT (bei 10 mm Luftspalt) und unterstützt hochpräzise DC/RF Messungen.

Parameterangaben

• Modell: DX1PS3
• Richtung des Magnetfelds: In‑Plane (X)
• Feldstärke: ≥ 330 mT @ 10 mm Luftspalt
• Luftspalt einstellbar: Nein
• Probenmaß: 12" Wafer (abwärtskompatibel mit 8" und 6")
• Sondentyp und Anzahl: DC‑Sonden (Satz von 4) oder Mikrowellen‑Sonden (Satz von 4)
• Probenstage: XY elektrisch ±150 mm, Einstellgenauigkeit 2 μm; T‑Achse manuell ±5°, minimale Einstellgenauigkeit 5′
• Mikroskoptyp: Monokular

Produktbeschreibung

• Unterstützt In‑Plane / senkrechte Feldmessungen mit modularer Struktur (Magnet austauschbar); Feldgleichmäßigkeit ±1% @ 1 mm.
• Echtzeit‑Überwachung und Rückkopplung des Magnetfelds mit Genauigkeit <1% und Auflösung <0.02 mT.
• Fasst bis zu 12" Wafer und ist kompatibel zu 8" und 6" Proben.
• Kompatibel mit bis zu 4 Sondensätzen (RF oder DC) und bietet eine Z‑Achse Sondenplattform mit Schnellhub für effizienten Testbetrieb.
• Integrationsfähiges Design inklusive Hall‑Probe, Gauss‑Meter und Mikroskop‑Justagehalterung.

Spezifische Konfiguration (Zusammenfassung)

• Hauptbaugruppe: DX1PS3 Waferebene Automatic In‑Plane Magnetfeld‑Sondenstation
• Einachsiger In‑Plane Elektromagnet (1 St): X‑Richtung, ≥330 mT @ 10 mm Luftspalt, Uniformitätszone ±1% @ 1 mm, Auflösung 0.02 mT
• Stromversorgung / Stromquelle 400 W (1 St): kontinuierliche bipolare Ausgabe, Vier‑Quadranten Betrieb, konfigurierbare Stromänderungsrate (0.00001 bis 0.5 F.S./s, F.S.=5 A), AC Eingang einphasig 220 V ±10%
• Probenhalter (1 St): X/Y Verfahrweg ±150 mm, Auflösung 2 μm; manuelle T‑Achse ±5° (Empfindlichkeit ≈5′); Halterdurchmesser 10 Zoll, Vakuumadsorption
• Sondenhalter / Fixture (4 St): Vakuumschaltbasis; feine XY‑Verstellung ±6 mm; Einstellauflösung ±1 μm; 30° Neigung; beinhaltet DC‑Sonden (typ. Satz 4), Leckstrom ≤10 pA, Max Strom 1 A, Spannungsfestigkeit 700 V, max Frequenz 1 MHz; Koaxkabel ≥1.5 m, BNC‑Stecker
• Steuerrechner (1 St): Intel i5, 16 GB RAM, 256 GB SSD + 512 GB HDD, 23.8" Display
• Ölfreie Vakuumpumpe (1 St): 24 h Betrieb, Förderleistung ≥ 7 L/min
• Monokulares Mikroskop (1 St): koaxiale Beleuchtung, Arbeitsabstand ≥ 80 mm; Kamera 5 MP, 30 fps, USB2.0; Vergrößerung 0.75X–5X, kontinuierlicher Zoom
• Luftschwebetisch (1 St): Tischgröße ≥ 800 × 1200 mm; inkl. Kompressor
• Integration der Stationsstruktur: verdeckte Vakuumkanäle, Z‑Achse manuell Auflösung 10 μm, keine Positionsdrift unter maximalem Magnetfeld
• Wasserkühler (1 St): 5–35 °C, 1200 W @ 25 °C, 10 L Tank, Temperaturregelgenauigkeit ±1 °C

Test‑Schnittstelle

• Dedizierte Test‑Schnittstelle für Magnetowiderstandsmessungen (Schaubild auf der Produktseite)

Technische Daten

• Modell: DX1PS3
• Feldrichtung: In‑Plane (X)
• Feldstärke: ≥ 330 mT @ 10 mm Luftspalt
• Felduniformität: ±1% @ 1 mm
• Feldüberwachung: Genauigkeit <1%; Auflösung <0.02 mT
• Probenkompatibilität: 12" Wafer (kompatibel mit 8" und 6")
• XY Verfahrweg (Probe‑Stage): ±150 mm, Einstellgenauigkeit 2 μm
• T‑Achse: manuell ±5°, minimale Einstellgenauigkeit 5′
• Sondenkapazität: bis zu 4 Sätze (RF oder DC); typischer Satz: 4 Sonden
• Sondenhalterauflösung: ±1 μm; feine XY‑Verstellung ±6 mm
• Stromversorgung/Quelle: 400 W, bipolare Vier‑Quadranten Ausgabe, Nennstrom max 5 A
• Z‑Achsen Plattform: manuell (aufrüstbar auf motorisiert)
• Mikroskop: monokular, Arbeitsabstand ≥ 80 mm, Kamera 5 MP, 30 fps, Zoom 0.75X–5X
• Vakuumpumpe: ölfrei, Dauerbetrieb, Förderleistung ≥ 7 L/min
• Luftschwebetisch: ≥ 800 × 1200 mm
• Wasserkühler: 5–35 °C, 1200 W @ 25 °C, 10 L Tank, ±1 °C
• Steuer‑PC: Intel i5, 16 GB RAM, 256 GB SSD + 512 GB HDD, 23.8" Display