Magnet-Messanlage DX1PS4

manuell

Übersicht

Die Wafer-Level Prüfstation für vertikales Magnetfeld ist für die magnetische Charakterisierung und Bauteiltests auf Wafer-Ebene ausgelegt. Sie unterstützt Wafer bis 12 Zoll, verschiedene Sondentypen (DC oder Mikrowelle) und bietet präzise Magnetfeldüberwachung bei effizientem Testablauf.

Technische Daten

• Richtung des Magnetfelds: Vertikal
• Magnetfeldstärke: Vertikales Magnetfeld >700 mT
• Luftersparnis einstellbar: Nein
• Probenabmessung: 12-Zoll Wafer (abwärtskompatibel mit 8-Zoll, 6-Zoll und Fragmenten)
• Sondentyp und -anzahl: DC-Sonden (Satz mit 4) oder Mikrowellen-Sonden (Satz mit 4); kompatibel mit bis zu 4 Sondensätzen (RF oder DC)
• Parameter der Probenbühne: XY elektrische Verfahrwege ±150 mm, Einstellgenauigkeit 2 μm; T-Achse manuelle Einstellung ±5°, minimale Einstellgenauigkeit 5°
• Mikroskoptyp: Monokulares Mikroskop
• Magnetfeldgleichmäßigkeit: ±1% @ φ1 mm (Struktur universell ausgelegt außer dem Magneten)
• Magnetfeldüberwachung: Echtzeitüberwachung und Rückkopplung; Überwachungsgenauigkeit besser als 1%; Feldauflösung besser als 0,02 mT
• Z-Achsen Sondenplattform: Schnellhub-Funktion für effiziente Tests; manueller Hub kann auf elektrische Steuerung aufgerüstet werden

Kompatibilität und Sonden

Unterstützt DC- und Mikrowellen-Sondensätze, bis zu vier gleichzeitige Sondensätze für parallele Messungen. Sondenauswahl und -anordnung sind kompatibel mit standardmäßigen Wafer-Sondenkarten und Vorrichtungen.

Typische Anwendungen

• Magnetische Charakterisierung auf Wafer-Ebene
• Prüfung und Kalibrierung von MR-Sensoren
• Bewertung von Spintronik-Bauelementen
• F&E und Produktionsfreigabe für magnetische Bauteile

Betriebliche Vorteile

Integrierte Echtzeit-Rückkopplung des Magnetfelds und hochauflösende Überwachung sorgen für reproduzierbare Messungen. XY-Verfahrwege und Feinjustage ermöglichen präzise Sondenpositionierung auf Wafer-Ebene, während der schnelle Z-Hub die Testdurchlaufzeit reduziert.

Optionen und Bestellung

Verfügbare Optionen: motorisierte Z-Achsen-Aufrüstung, Mikroskop-Upgrades, Feldkalibrierungsdienste und kundenspezifische Wafer-Vorrichtungen. Kontaktieren Sie den Vertrieb für Konfiguration und Lieferzeiten.