Magnet-Messanlage DX1PS3

manuell

Die Wafer‑Level‑Probestation für in‑plane Magnetfeld ist eine waferweite Testplattform, die konzipiert wurde, um kontrollierte feldparallele Magnetfelder anzulegen und die elektrische Charakterisierung auf Wafer‑Ebene zu ermöglichen. Sie bietet Echtzeitüberwachung des Magnetfelds und eine vielseitige Sondenplattform für DC‑ und RF‑Messungen.

Hauptmerkmale

• Erzeugt kontrollierte in‑plane Magnetfelder für Wafer‑Probing mit universellem Strukturdesign (Magnet nicht enthalten).
• Echtzeit‑Magnetfeldüberwachung und Rückkopplung für stabile Messbedingungen.
• Unterstützt mehrere Sondentypen (DC und Mikrowelle) und eine Schnellhub‑Sondenplattform in Z‑Richtung zur Effizienzsteigerung bei Tests.
• Ausgelegt für Kompatibilität mit Wafer‑Testworkflows und mehreren Sonden‑Sets für flexible Messungen.

Technische Spezifikationen

• Modell: DX1PS3
• Richtung des Magnetfelds: In‑plane
• Feldstärke: In‑plane Magnetfeld >330 mT
• Luftspalt einstellbar: Nein
• Probenmaß: 12‑Zoll‑Wafer (abwärtskompatibel mit Fragmentationstest)
• Sondentyp und -anzahl: DC‑Sonden (Satz mit 4) oder Mikrowellen‑Sonden (Satz mit 4)
• Plattinenparameter: XY elektrisch steuerbare Hub ±150 mm, Einstellgenauigkeit 2 μm; T‑Achse manuelle Einstellung ±5°, minimale Einstellgenauigkeit 5°
• Mikroskoptyp: Monokulares Mikroskop
• Magnetfeld‑Uniformität: ±1% @ φ1 mm (strukturell vielseitiges Design, Magnet nicht enthalten)
• Magnetfeldüberwachung: Echtzeit mit Überwachungsgenauigkeit <1% und Feldauflösung <0.02 mT
• Kompatibilität: Nimmt Wafer bis 12 Zoll auf und ist abwärtskompatibel mit 8‑ und 6‑Zoll‑Chips
• Sondenplattform: Z‑Achse Sondenplattform mit Schnellhub‑Funktion (standardmäßig manuell; optional elektrisch steuerbar)