Solar-Auftragsmaschine LD-42 series

Abscheidung von Tunneloxidschichten, i-Poly und D-Poly für TOPCon-Solarzellen. - Niederdruck- und Heißwandverfahren mit besserer Schichtgleichmäßigkeit und guter Kompaktheit. - LPCVD-Verfahren, dicht beladene Substrate haben wenig Einfluss auf die Beschichtungsrate, mit großer Beladungskapazität in einem einzigen Rohr. - Mehr Temperaturzonen, um die Gleichmäßigkeit zwischen Wafern zuverlässig zu gewährleisten. - Unabhängig einstellbarer, segmentierter Lufteinlass, um den Luftstromverarmungseffekt zu kompensieren.